[實用新型]一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置

無效

• 申請號: 200720031567.0
• 申請日: 2007-04-17
• 公開（公告）號: CN201057536Y
• 公開（公告）日: 2008-05-07
• 發明（設計）人: 曹希斌;趙寶升;賽小鋒;王俊鋒;韋永林;鄒瑋;董改云
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02;G01R31/26
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司
• 代理人: 王少文

1.一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，包括X射線發生裝置(21)、X射線成像系統(23)，所述X射線成像系統(23)包括高分辨率X射線像增強器、CCD攝像機(27)和圖像軟件處理系統(24)，其特征在于：所述高分辨率X射線像增強器包括電源(25)、輸入窗(1)、對X射線敏感的光電陰極(3)、微通道板組件、輸出窗(9)、增強器內殼(10)以及增強器外殼(28)；所述輸入窗(1)、輸出窗(9)以及增強器內殼(10)封接成真空密封件(12)；所述增強器內殼(10)包括依次軸向連接的封接環(16)、陶瓷外殼(14)以及輸出窗金屬外殼(15)；所述輸入窗(1)為密封固定在封接環(16)前端中間的金屬窗(20)；所述真空密封件(12)設置在增強器外殼(28)內；所述微通道板組件設置在輸入窗(1)和輸出窗(9)之間；所述光電陰極(3)蒸鍍在微通道板組件上；所述輸出窗(9)密封固定在輸出窗金屬外殼(15)上；所述輸出窗(9)包括熒光屏(11)、設置在熒光屏(11)內表面的熒光粉層(8)、設置在熒光粉層(8)外的鋁膜(7)。

2.根據權利要求1所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述X射線檢測裝置包括設置在X射線發生裝置(21)和X射線成像系統(23)之間的二維調節操作臺(22)；所述二維調節操作臺(22)包括X軸高精度步進電機和Y軸高精度步進電機，其X軸和Y軸的移動范圍為180mm，其旋轉范圍由水平到45度角。

3.根據權利要求2所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述X射線發生裝置(21)為微焦斑X射線發生裝置，其X射線能量范圍為20～70kV，X射線陽極電流為0.1～0.5mA，X射線焦斑尺寸為微米量級。

4.根據權利要求1或2或3所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述微通道板組件包括依次軸向連接的壓環(4)、微通道板(5)和托盤(19)，所述托盤(19)固定在陶瓷外殼(14)中間，所述壓環(4)固定在封接環(16)的內側；所述微通道板(5)通過壓環(4)固定在托盤(19)上；所述光電陰極(3)蒸鍍在微通道板(5)的輸入面。

5.根據權利要求4所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述壓環(4)為帶豁口(18)和斜面(17)的自膨脹壓環。

6.根據權利要求4所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述真空密封件(12)通過灌膠方式固封在增強器外殼(28)內；所述X射線成像系統(23)還包括設置在CCD攝像機(27)外的鋁制攝像機外殼(26)，所述鋁制攝像機外殼(26)與增強器外殼(28)固連。

7.根據權利要求6所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述電源(25)為瓦片電源組件，所述瓦片電源組件通過灌膠方式固封在增強器外殼(28)內。

8.根據權利要求4所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述輸入窗(1)和微通道板(5)間形成前端真空間隙(2)，所述微通道板(5)和輸出窗(9)之間形成后端真空間隙(6)；所述前端真空間隙(2)的軸向長度為5～6mm；所述后端真空間隙(6)的軸向長度為0.5～1mm；所述金屬窗(20)的厚度為0.3～2mm，有效直徑為Ф18～Ф100mm。

9.根據權利要求6或7或8所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述金屬窗(20)的材料為鋁或鈹；所述熒光屏(11)的材料為K4玻璃或光纖面板；所述光電陰極(3)為堿鹵化合物反射式光電陰極；所述熒光粉層(8)的材料為P20熒光粉；所述封接環(16)的材料為可伐合金4J33；所述輸入窗(1)和封接環(16)之間通過鋁焊料釬焊封接。

10.根據權利要求9所述的一種用于電子組裝故障檢測的X射線檢測裝置，其特征在于：所述堿鹵化合物反射式光電陰極為CsI光電陰極。