[實用新型]亞微牛頓級力測量裝置

無效

• 申請號: 200720013927.4
• 申請日: 2007-08-22
• 公開（公告）號: CN201096557Y
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 于鵬;董再勵;繆磊;劉連慶;劉意楊;王光宏
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽自動化研究所
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司
• 代理人: 許宗富;周秀梅

1.一種亞微牛頓力測量裝置，其特征在于：由微力感知測量頭，信號調理電路和數據采集模塊構成，其中微力感知測量頭接受來自探針的微作用力，將力信號變為電荷后送至信號調理電路，信號調理電路將其轉換成合適大小并能檢測的電壓信號輸出至數據采集模塊，數據采集模塊把獲得的電壓信號經過A/D轉換后利用已標定好的對微作用力與信號調理電路輸出電壓之間的關系，將所述電壓值換算為微力數值。

2.按權利要求1所述亞微牛頓力測量裝置，其特征在于：所述微力感知測量頭采用基于PVDF壓電材料的微力感知測量頭，為末端連接有探針的懸臂梁結構。

3.按權利要求2所述亞微牛頓力測量裝置，其特征在于：所述懸臂梁為具有壓電效應的PVDF材料。

4.按權利要求1所述亞微牛頓力測量裝置，其特征在于：所述信號調理電路包括電荷放大器(2)，濾波器(U2)，放大器(U3)，所述電荷放大器(2)把測量頭(1)產生的電荷信號轉換成電壓信號，輸出經濾波器(U2)去除噪聲后接至放大器(U3)。