[實(shí)用新型]介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720003194.6
• 申請日: 2007-02-05
• 公開（公告）號: CN201018710Y
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王守國
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H05H1/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，包括一個(gè)控制殼體，高頻電源系統(tǒng)，供氣源，等離子體放電主體，其特征在于：在一個(gè)控制殼體內(nèi)部設(shè)有高頻高壓電源和氣體流量計(jì)，在殼體的正面為系統(tǒng)控制板面，在殼體的上面設(shè)有上下平行的、帶有水冷電極的、經(jīng)過鋼化的玻璃板，在上下玻璃板之間設(shè)有兩個(gè)相同的絕緣板，該兩個(gè)絕緣板與上下兩塊玻璃板圍成一個(gè)長方體的通道，在上玻璃極板的中間位置設(shè)有進(jìn)氣孔，在進(jìn)氣孔兩側(cè)的上表面貼覆兩個(gè)對稱電極，稱為上電極，在下玻璃板的下表面貼覆一個(gè)與地連接的電極，稱為地電極。

2.如權(quán)利要求1所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：控制殼體內(nèi)部設(shè)有高頻高壓電源和氣體流量計(jì)，在控制殼體的正面安裝有電源控制開關(guān)和氣體控制開關(guān)。

3.如權(quán)利要求1所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：該高頻高壓電源的放電頻率范圍為：1-100KHz，放電電壓范圍為：4-15KV，該射頻放電是在常壓下進(jìn)行的。

4.如權(quán)利要求1所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：在殼體的上面設(shè)有兩個(gè)平行的、帶有水冷電極的、具有一定間隙的、經(jīng)過鋼化的玻璃板，該兩個(gè)鋼化玻璃板構(gòu)成了上下雙介質(zhì)。

5.如權(quán)利要求1和4所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：在該雙介質(zhì)玻璃板的兩側(cè)墊有兩個(gè)長條形狀的絕緣板，使兩側(cè)的絕緣板和上下兩個(gè)玻璃板圍成一個(gè)兩端開口的長方體放電通道，兩側(cè)絕緣板選用的厚度范圍為1-3毫米，該厚度決定通道的放電間隙，通道的寬度范圍是30-500毫米，長度范圍是400-2000毫米。

6.如權(quán)利要求1或4所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：在上玻璃極板的中間部位設(shè)有進(jìn)氣孔，在進(jìn)氣孔兩側(cè)的上表面貼覆兩個(gè)對稱電極，稱為上電極，該上電極與電源的高壓輸出端連接；在下玻璃板的下表面貼覆一個(gè)與地連接的電極，稱為地電極；該上電極和地電極設(shè)有水冷管。

7.如權(quán)利要求1所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：在上玻璃極板的中間部位設(shè)有進(jìn)氣孔，該進(jìn)氣孔通過進(jìn)氣導(dǎo)管、氣體流量控制閥門與氣源連接，該氣源是氬氣或氦氣，氬氣或氦氣與反應(yīng)氣體的混合氣體。

8.如權(quán)利要求1所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：在放電通道的兩端分別安裝有導(dǎo)向滑輪。

9.如權(quán)利要求1所述的一種介質(zhì)阻擋分區(qū)放電通道裝置，其特征在于：在殼體的上面設(shè)有一個(gè)排氣罩。