[實用新型]可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置無效
| 申請號： | 200720002200.6 | 申請日： | 2007-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN200997720Y | 公開（公告）日： | 2007-12-26 |
| 發明（設計）人： | 梁國飛 | 申請（專利權）人： | 普利喜科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/34 | 分類號： | H05H1/34;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙燕力 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 產生 活性 氣體 等離子體 火炬 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，該等離子體火炬裝置是于一座體內設有可產生電弧柱的內電極，于內電極前端的座體上設有使電弧柱通過的噴嘴，其特征在于：該內電極為一前端設有容置空間的中空構造，該容置空間容設所述電弧柱。
2.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：該等離子體火炬的噴嘴開口最狹窄處小于等于內電極中空構造前端開口。
3.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：該中空構造的容置空間為長直孔狀。
4.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：該中空構造的容置空間為上小下大的漸縮孔狀。
5.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：該中空構造的容置空間為階梯孔狀。
6.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：該中空構造的容置空間為鰭片狀。
7.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：該中空構造的容置空間為上大下小的漸開孔狀。
8.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：該中空構造的容置空間的頂部為斜頂狀。
9.如權利要求1所述的可產生高活性氣體的等離子體火炬裝置，其特征在于：內電極外部形成鰭片狀。
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