[發明專利]一種振動環的生產工藝

無效

• 申請號: 200710307731.0
• 申請日: 2007-12-26
• 公開（公告）號: CN101227121A
• 公開（公告）日: 2008-07-23
• 發明（設計）人: 黃紹;蘭建偉
• 申請（專利權）人: 彩虹集團電子股份有限公司
• 主分類號: H02K15/00
• 分類號: H02K15/00;H02K15/02;C23G1/02;G03B27/04;G03F7/00;G03F7/16;G03F7/26;C23F1/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 陸萬壽

技術領域

本發明涉及振動環的制造生產工藝，特別涉及使用化學蝕刻生產無連接點振動環或振動片的工藝。

背景技術

目前利用精密蝕刻技術生產的產品品種越來越多，對產品尺寸精度以及表面光滑度的要求也越來越高。蝕刻生產單個產品外邊緣必須有至少一個連接點(單個產品與邊框連接，這樣形成一個單張)，這樣才能確保整個生產過程中不會掉片，但同時產品邊緣必定留下一個小缺口，影響邊緣的平滑度。應客戶要求加工一類小圓環或者是小圓片，外邊緣平滑度要求極高，不允許有連接點。由于不能有連結點，目前的生產工藝中的蝕刻過程中，在噴射壓力的作用下產品會聚為一堆，處于最外面的產品由于接觸腐蝕液較為充分，產品的幾何尺寸偏大；而處于最里面的產品由于受外面產品的包圍，腐蝕就略欠，同時產品不同部位腐蝕的一致性較差。另外，若按照目前的生產工藝進行，產品勢必全部掉片，導致剝膜及脫水時不能整張進行，產品損失較多，無法生產出合格的產品。

發明內容

本發明的在于克服上述現有技術的缺點，提出一種本發明的目的在于提供一種適應無連接點小圓環或者小圓片的生產工藝，本工藝剝膜及脫水時可以整張進行，采用本發明的工藝生產可以提高產品的良品率。

為達到上述目的，本發明采取的技術方案是：本發明的工藝包括：設計、制版、切料、清洗、涂膠烘干、曝光、顯影堅膜、固化、蝕刻、剝膜、清洗烘干：

本發明包括下列步驟：

(1)、設計：

用CAD制圖，制版按A＝T/2計算(其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度)；

(2)、制版：

采用光繪機制作菲林，在100倍顯微鏡下對位，對位偏差不超過5μm；

(3)、切料：

用剪板機將卷材切成板材；

(4)、清洗：

對板材先用清洗劑進行清洗，然后用清水清洗，再置于濃度為2-3％的稀硝酸中進行粗化，取出后依次用清水、純水沖洗，置于純水槽中；

(5)、涂膠烘干：

將材料放于旋轉涂膠機中，開啟旋轉，在板材一面倒上25ml左右的感光膠，使感光膠在離心作用下均勻涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后開啟旋轉、加熱，3-4min取出；

(6)、曝光：

將涂膠干燥后的板材在菲林中間進行紫外線雙面曝光，紫外線燈照度8-12W/cm²，曝光時間15-18s；

(7)、顯影堅膜：

用清水作為顯影液，常溫顯影，顯影壓力0.10Mpa-0.15Mpa，顯影時間30-40s，顯影完成后將板材放入4-6％的鉻酸槽中浸泡25-30s，取出清水沖洗，再進入脫水機80-90℃脫水；

(8)、固化：

固化過程采用烘箱，烘箱內溫度200-220℃，固化時間300s-400s；

(9)、蝕刻：

采用蝕刻機FeCl₃液噴淋蝕刻，FeCl₃液的疲勞度8-12％，將產品置于絲網托架上進行蝕刻，對八個噴淋室中八個泵的上下壓力重新比例分配，板材的下部壓力較上部壓力大0.01MPa；根據腐蝕的特點，觀察其穿孔的部位，在前部未穿孔時產品互相有連接，腐蝕壓力適當增大為0.09Mpa；當穿孔后，使用小壓力，對孔型進行細小的修正，解決了產品在壓力沖擊下的飛濺問題；最終確定的蝕刻壓力：

上部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；

下部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；

溫度保持43℃-47℃，蝕刻時間3-5min。

(10)、剝膜：

剝膜使用購置的A、B型堿性剝膜液，先將產品連同自制的絲網托架置于500-1000毫升的A液中，下置一加熱器，加熱到90℃-100℃，倒入相當于A液1/3量的B液，迅速反應，待表面膠膜脫凈后取出清水沖洗；

(11)、清洗烘干：

取出后產品連同絲網托架進入脫水機80-90℃低溫烘干。

采用本發明的振動環生產工藝，適應無連接點小圓環或者小圓片的生產，本工藝剝膜及脫水時可以整張進行，采用本發明的工藝生產可以提高產品的良品率。

附圖說明

圖1是本發明的工藝過程圖；

圖2是自制絲網托架圖。

具體實施方式

本發明的第一個實施例：

本發明包括下列步驟：

(1)、設計：