[發明專利]大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺

無效

• 申請號: 200710307716.6
• 申請日: 2007-12-26
• 公開（公告）號: CN101197197A
• 公開（公告）日: 2008-06-11
• 發明（設計）人: 楊川;張志;王光亮;趙強;楊必勝
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;G12B9/10
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 張震國

1.大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，包括下平臺基座(1)以及設置在下平臺基座(1)上的上平臺基座(5)，其特征在于：上平臺基座(5)上經線切割加工有微動工作平臺(7)，下平臺基座(1)的兩側設置有平行導軌(3)，上平臺基座(5)通過滾動導軌副(4)安裝在平行導軌(3)上，直線電機定子(2)固定于下平臺基座(1)上，直線電機動子(14)通過直線電子動子連接架(15)與上平臺基座(5)相連，在下平臺基座(1)的一側安裝有光柵尺(10)，與光柵尺(10)相配合的光柵尺讀數頭(8)通過連接架(9)與微動工作平臺(7)相連，微動工作平臺(7)的四周開有框形直通槽，微動工作平臺(7)上還開設有安裝Y向壓電驅動器(6)、X向壓電驅動器(12)的Y向壓電驅動器定位槽(17)和X向壓電驅動器定位槽(23)，且在微動工作平臺(7)還開設有安裝承載平臺的固定螺孔(25)。

2.根據權利要求1所述的大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，其特征在于：所說的下平臺基座(1)上還設置有光柵尺固定架(11)，光柵尺(10)通過光柵尺固定架(11)固定在下平臺基座(1)上。

3.根據權利要求1所述的大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，其特征在于：所說的下平臺基座(1)還設置有兩個起限位保護作用的機械限位裝置(13)。

4.根據權利要求1所述的大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，其特征在于：所說的上平臺基座(5)上有開設有直線電機動子固定沉孔(26)和導軌副沉孔(16)，直線電機動子(14)的安裝連接架(15)及導軌副(4)分別通過直線電機動子固定沉孔(26)和導軌副沉孔(16)與上平臺基座(5)相連。

5.根據權利要求1所述的大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，其特征在于：所說的微動工作平臺(7)四周開設的框形直通槽的寬度為2mm。

6.根據權利要求1所述的大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，其特征在于：所說的Y向、X向壓電驅動器(6、12)分別位于前擋塊(27)和后擋塊(28)之間，前擋塊(27)為一圓弧結構，分別與Y向、X向壓電驅動器定位槽(17、23)中的圓弧相切起到定位作用，Y向、X向壓電驅動器預緊螺孔(18、24)中的螺釘頂在后擋塊(28)上固定預緊。

7.根據權利要求1所述的大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，其特征在于：所說的X向上，微動工作平臺(7)上開設有柔性鉸鏈機構，該柔性鉸鏈機構包括五個柔性鉸鏈(21)和三個柔性鉸鏈臂(22)。

8.根據權利要求1所述的大運動范圍宏微雙重驅動定位平臺，其特征在于：所說的Y向上，微動工作平臺(7)上開有的兩個對稱的柔性鉸鏈機構，每個柔性鉸鏈機構包括六個柔性鉸鏈(20)和三個柔性鉸鏈臂(19)。