[發明專利]涂布裝置及涂布方法無效
| 申請號: | 200710307314.6 | 申請日: | 2007-12-27 |
| 公開(公告)號: | CN101209439A | 公開(公告)日: | 2008-07-02 |
| 發明(設計)人: | 梶谷雅一;近藤尚城;野尻大介;肥田充弘;永井久也;青木正美 | 申請(專利權)人: | 中外爐工業株式會社 |
| 主分類號: | B05C5/02 | 分類號: | B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人: | 方曉虹 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 方法 | ||
1.一種涂布裝置,使涂布液排出裝置相對于載放在支承臺上的被涂布構件而向水平方向移動,并驅動涂布液供給裝置以將涂布液供給到所述涂布液排出裝置,通過所述涂布液排出裝置的噴嘴將涂布液涂布在所述被涂布構件上,其特征在于,包括:
分支管,該分支管與從所述涂布液排出裝置至所述噴嘴的配管的途中連通;
涂布液吸引裝置,該涂布液吸引裝置通過所述分支管從所述噴嘴吸引涂布液;
控制裝置,該控制裝置根據所述涂布液排出裝置的噴嘴的前端開口部到達所述被涂布構件的最后涂布區域而使所述涂布液吸引裝置開始進行涂布液的吸引動作。
2.一種涂布裝置,使涂布液排出裝置相對于載放在支承臺上的被涂布構件而向水平方向移動,并驅動涂布液供給裝置以將涂布液供給到所述涂布液排出裝置,通過所述涂布液排出裝置的噴嘴將涂布液涂布在所述被涂布構件上,其特征在于,包括:
分支管,該分支管與從所述涂布液排出裝置至所述噴嘴的配管的途中連通;
開閉單元,該開閉單元可使所述分支管向外氣開放;
控制裝置,該控制裝置根據所述涂布液排出裝置的噴嘴的前端開口部到達所述被涂布構件的最后涂布區域而利用所述開閉單元使分支管向外氣開放。
3.如權利要求2所述的涂布裝置,其特征在于,所述分支管的向大氣開放的位置是在所述涂布液排出裝置的噴嘴的前端開口部的下方。
4.如權利要求2或3所述的涂布裝置,其特征在于,所述分支管的向大氣開放的位置可沿鉛垂方向調整。
5.一種涂布方法,使涂布液排出裝置相對于載放在支承臺上的被涂布構件而向水平方向移動,并驅動涂布液供給裝置以將涂布液供給到所述涂布液排出裝置,通過所述涂布液排出裝置的噴嘴將涂布液涂布在所述被涂布構件上,其特征在于,
根據所述涂布液排出裝置的噴嘴的前端開口部到達所述被涂布構件的最后涂布區域,并借助與從所述涂布液排出裝置至所述噴嘴的配管的途中連通的分支管開始進行所述噴嘴內的涂布液的吸引動作。
6.一種涂布方法,使涂布液排出裝置相對于載放在支承臺上的被涂布構件而向水平方向移動,并驅動涂布液供給裝置以將涂布液供給到所述涂布液排出裝置,通過所述涂布液排出裝置的噴嘴將涂布液涂布在所述被涂布構件上,其特征在于,
根據所述涂布液排出裝置的噴嘴的前端開口部到達所述被涂布構件的最后涂布區域,使與從所述涂布液排出裝置至所述噴嘴的配管途中連通的分支管向大氣開放。
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