[發(fā)明專(zhuān)利]用于清洗太陽(yáng)能電池襯底的方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710306092.6 | 申請(qǐng)日： | 2007-12-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101211995A | 公開(kāi)（公告）日： | 2008-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱賢碩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 斯?fàn)柸鸲鞴?/a> |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L31/18 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L31/18;H01L21/00;H01L21/30;H01L21/301;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 章社杲;李丙林 |
| 地址： | 韓國(guó)慶*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 清洗 太陽(yáng)能電池 襯底 方法 | ||
1.一種用于清洗太陽(yáng)能電池襯底的方法，包括：
(S11)在提供切削油同時(shí)，將懸掛在切片機(jī)上的、用于制造太陽(yáng)能電池襯底的鑄錠切成多個(gè)襯底，并且當(dāng)所述襯底彼此平行地從所述切片機(jī)垂直地垂下時(shí)，將所述襯底放入清洗機(jī)中；
(S12)除去殘留在垂直放置的所述襯底的表面上的所述切削油；
(S13)活化所述襯底的表面以便更好地清洗所述襯底的表面；以及
(S14)化學(xué)蝕刻所述襯底的活性表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于清洗太陽(yáng)能電池襯底的方法，其中，在所述步驟(S11)中使用的所述切削油是聚乙二醇(PEG)或聚丙二醇(PPG)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于清洗太陽(yáng)能電池襯底的方法，其中，所述步驟(S12)使用選自由下述方法組成的組中的至少一種方法：用于朝向下游方向?qū)⒕哂?至3kgf/cm2壓力的去離子(DI)水噴射到所述襯底的上部的噴霧法，利用在水中從底部進(jìn)行的空氣噴射的鼓泡法，將超聲波施加于所述清洗機(jī)的下部的方法，以及對(duì)放置在所述清洗機(jī)中的所述襯底進(jìn)行攪動(dòng)的方法。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于清洗太陽(yáng)能電池襯底的方法，其中，在所述步驟(S13)中，利用含有硅(Si)成分的堿性表面活性劑在40至80℃的溫度條件下處理所述襯底的表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于清洗太陽(yáng)能電池襯底的方法，其中，在所述步驟(S14)中的所述化學(xué)蝕刻是利用包含5至80重量％的氫氧化鈉、10至13重量％的過(guò)氧化氫、以及剩余含量為去離子水的蝕刻液來(lái)進(jìn)行的。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專(zhuān)門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專(zhuān)門(mén)適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
