[發明專利]藍寶石襯底清洗方法無效
| 申請號： | 200710305836.2 | 申請日： | 2007-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN101468352A | 公開（公告）日： | 2009-07-01 |
| 發明（設計）人： | 謝雄略 | 申請（專利權）人： | 深圳市方大國科光電技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12;B08B3/08;B08B3/10;C11D7/26 |
| 代理公司： | 深圳市順天達專利商標代理有限公司 | 代理人： | 郭偉剛 |
| 地址： | 518055廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 藍寶石 襯底 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
1、一種藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：在正常室溫下，有機溶劑超聲清洗；以及在加熱條件下，丙酮浸泡。
2、根據權利要求1所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，所述有機溶劑是異丙醇和丙酮。
3、根據權利要求2所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，依次包括以下步驟：
a、在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于異丙醇有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約1～3分鐘；
b、在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約1～5分鐘；
c.在沸騰狀態下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中1～2分鐘；
d.將清洗完的藍寶石襯底取出，進行加熱烘干。
4、根據權利要求3所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，在所述步驟a中，在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于異丙醇有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約3分鐘。
5、根據權利要求3所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，在所述步驟b中，在正常室溫下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中，配合超聲波作用，清洗大約3分鐘。
6、根據權利要求3所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，在所述步驟c中，在沸騰狀態下，將藍寶石襯底浸泡于丙酮有機溶劑中大約1.5分鐘。
7、根據權利要求1～6任一所述的藍寶石襯底清洗方法，其特征在于，所述超聲波的頻率為10～200KHz。
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