[發明專利]一種超寬光譜分色鏡的制備方法無效
| 申請號： | 200710304640.1 | 申請日： | 2007-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN101470266A | 公開（公告）日： | 2009-07-01 |
| 發明（設計）人： | 陳燾;熊玉卿;劉宏開;馬勉軍;王多書 | 申請（專利權）人： | 中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分類號： | G02B27/10 | 分類號： | G02B27/10;B08B3/12;G02B1/10;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京理工大學專利中心 | 代理人： | 張利萍 |
| 地址： | 730000甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光譜 分色鏡 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1、一種超寬光譜分色鏡的制備方法，其特征在于包括下列步驟：
(1)清潔真空室：用吸塵器清除真空室內脫落的膜層，然后用無水乙醇擦拭干凈真空室內壁；
(2)超聲波清洗基底：將基片放入玻璃器皿，用分析純丙酮將基片超聲波清洗10min，再用分析純無水乙醇超聲波清洗10min，最后用分析純無水乙醇沖洗干凈，用專用無屑擦拭紙擦拭至表面無劃痕、擦痕和液滴殘留痕跡；
(3)加熱基底：當本底真空度為5.0×10-3Pa時，加熱基底到沉積溫度323～353K，并保溫30Min～60Min；
(4)離子束清洗基底：基底加溫完成后，用能量為80eV～130eV的離子束轟擊清洗基底5Min～25Min，工作氣體為氧氣，氣體流量20～30sccm；
(5)離子束輔助多層薄膜沉積：離子束轟擊清洗完基底后，立即采用離子束輔助技術交替沉積二氧化鈦和冰晶石薄膜至鍍完整個膜系；工作氣體為氧氣，氣體流量20～30sccm；
(6)基底降溫：薄膜沉積完成后，讓基底自然冷卻至室溫。
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