[發明專利]一種長壽命微波放電內導體

無效

• 申請號: 200710304617.2
• 申請日: 2007-12-28
• 公開（公告）號: CN101472383A
• 公開（公告）日: 2009-07-01
• 發明（設計）人: 李中華;王敬宜;鄭闊海
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所
• 主分類號: H05H1/28
• 分類號: H05H1/28;H01J37/32
• 代理公司: 北京理工大學專利中心
• 代理人: 張利萍

技術領域

本發明涉及一種長壽命微波放電內導體，屬于機械測試領域。

背景技術

微波放電內導體工作在高溫及氧化性的環境中，要求內導體能夠在高溫條件下(2000℃以上)長期工作而不被氧化或熔化。但由于內導體處在高溫等離子體環境中，熱量不易散發，即使耐高溫的金屬鎢和鉑也被熔化，嚴重制約了內導體的使用壽命。

目前主要采用如圖1所示的內導體結構，由密封陶瓷、可伐和實心內導體組成。密封陶瓷與可伐焊接，內導體一端與可伐的一端焊接。

目前內導體的缺點和不足：

①內導體的熱量不能散發，導致內導體熔化，使用壽命不足100小時；

②由于內導體使用壽命短，需要經常更換，導致放電不能連續，降低了設備使用效率；

③由于需經常更換內導體，而且，內導體是由昂貴的鎢或鉑制作，設備使用成本大大增加；

④熔化的內導體對等離子體造成污染，影響了等離子體的純度。

發明內容

本發明的目的是提供一種結構簡單、成本低、使用壽命長微波放電內導體。

本發明的目的是通過下述技術方案實現的：

本發明的一種長壽命微波放電內導體，包括可伐、密封陶瓷、空心內導體、冷卻水管組成；其連接方式為：可伐和密封陶瓷通過焊接鏈接；可伐的一端與空心內導體的一端焊接；；冷卻水管伸入到內導體的內部，內導體的內部為空心，冷卻水管伸入到天線內部；在空心內導體中可引入一根冷卻水管，冷卻水可到達內導體的端部并沿著內導體內壁回流，利用冷卻水將內導體的熱量帶走，達到冷卻冷導體的目的。

其工作原理為：通過冷卻水管將去離子水送入到空心內導體端部，將內導體的熱量帶走，從而達到降溫的目的。經過水冷降溫后，內導體不再熔化，因此，不需要使用昂貴的耐高溫的金屬鎢或鉑，可使用不銹鋼材料制作內導體。

本發明的發明點為：

①本發明將實心內導體改為空心內導體，并在空心內導體中通入冷卻水，直接對內導體頭部進行冷卻；

②由于內導體經水冷卻后的溫度在100℃以下，不再有嚴重的氧化和熔化問題，內導體不需要使用昂貴的鎢或鉑制作，可用不銹鋼材料代替。

本發明的有益效果：本發明的內導體通過將實心內導體改為空心內導體并用去離子水冷卻內導體頭部，達到降低內導體頭部溫度的目的，克服了由于長期使用實心內導體，熱量不能及時散發，導致內導體頭部熔化、氧化的缺點，有效解決了內導體使用壽命短的難題；使用壽命由原來的不足100小時，提高到10000小時以上；由于用不銹鋼材料代替昂貴的耐高溫金屬鎢或鉑制作，使內導體的制作成本由原來3000元/個，降到了100元/個；與目前使用的內導體相比較，具有成本低、使用壽命長、自身污染小等優點。

附圖說明

圖1—以前內導體結構示意圖；

圖2—本發明內導體結構示意圖；

圖中：1—可伐、2—密封陶瓷、3—實心內導體、4—空心內導體、5—冷卻水管。

具體實施方式

實施例

本發明由可伐1、密封陶瓷2、空心內導體4、冷卻水管5組成?？煞?和密封陶瓷2通過焊接鏈接；可伐1的一端與空心內導體4的一端焊接；內導體的內部為空心，冷卻水管伸入到天線內部；在空心內導體4中可引入一根冷卻水管5，冷卻水可到達內導體4的端部并沿著內導體4內壁回流，利用冷卻水將內導體的熱量帶走，達到冷卻冷導體的目的。

本發明的主要功能是將微波能傳入到放電室；微波通過密封陶瓷2傳入到放電室內部，產生高溫等離子體；空心內導體4處在高溫等離子體中，溫度可達2000℃以上，足以將所有金屬熔化；通過將冷卻水引入到空心內導體4的端部，使熱量及時被帶走，從而確保空心內導體4的溫度在100℃以下，減少等離子體對內導體的氧化或者避免熔化，使內導體的使用壽命增加，提高等離子體的純度。