[發明專利]一種三氟酸鹽-金屬有機沉積制備高溫超導薄膜的方法有效
| 申請號： | 200710304554.0 | 申請日： | 2007-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN101471161A | 公開（公告）日： | 2009-07-01 |
| 發明（設計）人： | 丁發柱;李弢;古宏偉 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院 |
| 主分類號： | H01B13/00 | 分類號： | H01B13/00;H01B12/06;C23C28/00;H01L39/24 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 程鳳儒 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 三氟酸鹽 金屬 有機 沉積 制備 高溫 超導 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種三氟酸鹽-金屬有機沉積制備高溫超導薄膜的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：
第一步驟，按照Y∶Ba∶Cu＝1∶2∶3的摩爾比例把Y(CH3COO)3、Ba(CH3COO)2和Cu(CH3COO)2混合，室溫溶于含20-30摩爾％的三氟乙酸的去離子水中配成溶液；
第二步驟，將上述溶液經回流均勻后，于空氣中自然蒸發為凝膠；
第三步驟，將上述凝膠加入甲醇和松油醇的混合液中形成前驅液，制成Y、Ba和Cu三種金屬離子濃度為1.0mol/L～1.5mol/L的前驅液，其中，甲醇和松油醇的摩爾比為0.9-1.1∶0.9-1.1；
第四步驟，將上述前驅液涂覆在單晶氧化物或其它適于制備高溫超導薄膜的基片上；
第五步驟，在400℃～410℃條件下進行4.0-4.2小時的低溫熱處理，分解三氟乙酸鹽；
第六步驟，進行750～800℃的高溫熱處理，合成四方相釔鋇銅氧薄膜；
第七步驟，490℃～510℃、純氧條件下對薄膜進行退火熱處理，制備成釔鋇銅氧高溫超導薄膜。
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