[發明專利]一種帶加長型筒狀陽極的筒狀靶濺射設備

有效

• 申請號: 200710304553.6
• 申請日: 2007-12-28
• 公開（公告）號: CN101469405A
• 公開（公告）日: 2009-07-01
• 發明（設計）人: 李弢;古宏偉;王霈文;王小平
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 程鳳儒

1.一種帶加長型筒狀陽極的筒狀靶濺射設備，其特征在于：該濺射設備包括有：

水箱，該水箱為筒狀，其頂部為敞口，該敞口的周邊緣向外凸出形成懸掛邊，其上配合有絕緣圈，并在該水箱的環壁內設有水夾層；

筒狀靶材，該筒狀靶材為筒狀，其頂部和底部均為敞口，其底部置于水箱內的底壁上，該筒狀靶材的整體位于水箱的下部，該筒狀靶材的外環壁與水箱的內環壁緊密接觸；

加長型筒狀陽極，該加長型筒狀陽極為筒狀，其底壁設有若干個濺射氣體進氣孔，其頂部為敞口，該敞口的周邊緣向外凸出形成支撐邊，該敞口并配有陽極蓋，在陽極蓋上接有進氣管路，該加長型筒狀陽極置于水箱內，并伸入到筒狀靶材內，其底部位于筒狀靶材的上部位置，其外壁與筒狀靶材的內壁之間留有空隙，該加長型筒狀陽極的支撐邊懸掛在水箱的懸掛邊上，并通過所述的絕緣圈與水箱絕緣；

數塊磁體，該數塊磁體圍繞水箱的環壁的一周、間隔設在水箱的水夾層的內壁上，該數塊磁體與筒狀靶材的中部相對。

2.根據權利要求1所述的帶加長型筒狀陽極的筒狀靶濺射設備，其特征在于：所述的水箱、筒狀靶材、加長型筒狀陽極均為圓筒狀。

3.根據權利要求1或2所述的帶加長型筒狀陽極的筒狀靶濺射設備，其特征在于：在所述的水箱外的底壁上設有支撐腳。

4.根據權利要求3所述的帶加長型筒狀陽極的筒狀靶濺射設備，其特征在于：所述的加長型筒狀陽極為無氧銅材料制成。

5.根據權利要求4所述的帶加長型筒狀陽極的筒狀靶濺射設備，其特征在于：所述的水箱上的絕緣圈、陽極蓋均為聚四氟乙烯材料絕緣制成。