[發明專利]微機械可調微波帶通濾波器

無效

• 申請號: 200710303767.1
• 申請日: 2007-12-21
• 公開（公告）號: CN101212076A
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發明（設計）人: 繆旻;卜景鵬;趙立葳
• 申請（專利權）人: 北京信息工程學院
• 主分類號: H01P1/212
• 分類號: H01P1/212;H01P1/20
• 代理公司: 北京君尚知識產權代理事務所
• 代理人: 賈曉玲

1.一種微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：在微波電路襯底上設有一梳狀濾波器結構，該梳狀濾波器結構包括輸入耦合單元、輸出耦合單元以及在上述兩個單元之間的相互間平行排列的多個諧振器單元，所述諧振器單元由中等阻抗傳輸線與高阻抗傳輸線串連構成，其中，所述中等阻抗傳輸線的一端接地，而所述高阻抗傳輸線的一端開路，在所述高阻抗傳輸線上串連或者/和并連一個或一個以上微機械開關，所述微機械開關與外部電信號控制電路連接。

2.如權利要求1所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述高阻抗傳輸線與中等阻抗傳輸線之間串連一集總參數或半集總參數的加載電容，所述加載電容兩端并連一微機械開關，該微機械開關通過一反相器與外部電信號控制電路連接。

3.如權利要求1或2所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述微機械開關的結構為，包括一襯底，所述高阻抗傳輸線固定在該襯底上，所述高阻抗傳輸線呈斷開狀，由相互之間存在間隙的高阻抗傳輸線段構成，在位于高阻抗傳輸線段之間的間隙處固定一橋膜，在所述橋膜和所述襯底上設置一對電極，所述電極與外部電信號控制電路連接。

4.如權利要求3所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述橋膜為鏡像對稱的蝶形硅結構，其中間部分可嵌入高阻抗傳輸線段之間的間隙中，其兩側的硅側翼為橋膜電極。

5.如權利要求3或4所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述橋膜的兩側分別設置若干個彈簧硅梁，所述彈簧硅梁的一端連接所述橋膜，所述彈簧硅梁的另一端與橋膜和襯底的固定錨點連接。

6.如權利要求4所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述橋膜的中間部分為層狀結構，從上至下具體為單晶硅層、氧化硅層和金屬層。

7.如權利要求4或6所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述橋膜的側翼部分為層狀結構，從上至下具體為單晶硅層和氧化硅層。

8.如權利要求4所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述硅橋膜的厚度為10μm-40μm。

9.如權利要求1或2所述的微機械可調微波帶通濾波器，其特征在于：所述中等阻抗傳輸線和高阻傳輸線為可在微波電路襯底上制作的微帶線、帶線或者共面波導線。