[發明專利]光學相干層析成像方法及其裝置

有效

• 申請號: 200710303722.4
• 申請日: 2007-12-21
• 公開（公告）號: CN101199413A
• 公開（公告）日: 2008-06-18
• 發明（設計）人: 姚曉天
• 申請（專利權）人: 北京高光科技有限公司;通用光訊光電技術(北京)有限公司
• 主分類號: A61B5/00
• 分類號: A61B5/00;G01N21/45
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所
• 代理人: 廖元秋

1.一種光學相干層析成像方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將測量光源發出測量光束，通過一個帶有一定反射率的透光器件，產生一個反射光和一個透射光，該透射光照射到被測物體的一點；

2)被測物體的反射光由原光路返回后，和所述透光器件的反射光一起合成一束光傳輸，再被分為兩束光分別進入第一光路和第二光路，其中第一束光通過設置在第一光路中的第一反射元件反射后從原路返回，第二束光經過設置在第二光路中的可調光延遲元件被延遲一設定的光程再經第二反射元件反射后，重新穿過所述可調光延遲元件從原路返回；

3)所述返回的兩束反射光交匯產生干涉后進入光探測器產生對應的電信號；

4)上下左右移動照射在被測樣品上的光束，對被測物體進行掃描；每移動到一個點，該可調光延遲元件做一次延遲操作，重復步驟1-3，使測量光的干涉相位對應樣品的不同截面；

5)信號采集處理電路將干涉光電信號進行處理，并將處理結果上傳到計算機進行圖像分析和顯示。

2.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟1)中還包括在該測量光源輸出端加入一個偏振態發生器或偏振控制器，將輸出光調節為一個已知的偏振態。

3.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟2)中還包括阻止所述兩束反射光回射到測量光被分成兩路以前的光路中。

4.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟2)中還包括在第一光路中加入一個光延遲裝置，在掃描被測樣品前，預先調整兩束干涉光的相位，使來自被測樣品反射光和來自所述透光器件的反射光之間達到理想的干涉效果。

5.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟2)中所述第一和第二反射元件采用可將入射光的偏振方向旋轉90度后反射回去的反射元件，以消除光路中的偏振干擾。

6.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟3)還包括：所述返回的兩束反射光交匯產生干涉后再進行偏振分束，分為兩束光偏振態相互正交的偏振光后，分別進入到兩個光探測器產生對應的電信號。

7.如權利要求1所述方法，其特征在于，所述步驟5)中還包括采集光路中偏振態變化信息，以分析被測樣品內部結構和進行層析成像。

8.一種光學相干層析成像方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將波長為λ1的測量光源發出的光做為測量光束，通過一個帶有一定反射率的透光器件，產生一個反射光和一個透射光，該透射光照射到被測物體的一點；

2)被測物體反射光返回原光路后，和所述透光器件的反射光一起合成一束光傳輸，再被分為兩束光分別進入第一光路和第二光路，其中第一束光通過設置在第一光路中的第一反射元件反射后從原路返回，第二束光經過設置在第二光路中的可調光延遲元件被延遲一設定的光程再經第二反射元件反射后，重新穿過所述可調光延遲元件后從原路返回；

3)所述返回的兩束反射光交匯產生干涉后進入光探測器產生對應的電信號；

4)上下左右移動照射在被測樣品上的光束，對被測物體進行掃描，每移動到一個點，可調光延遲元件做一次延遲操作重復步驟1-3，使測量光的干涉相位對應樣品的不同截面；

5)將一波長為λ2的參照光源，并被分為兩束參照光分別進入所述第一光路和第二光路，其中第一束參照光通過設置在第一光路中的所述第一反射元件反射后從原路返回，第二束參照光經過設置在第二光路中的所述可調光延遲元件被延遲一設定的光程后，再經所述第二反射元件反射重新穿過該光延遲元件，再次被延遲一設定的光程后從原路返回；

7)所述返回的兩束反射參照光交匯產生干涉后進入所述光探測器產生對應的電信號；

8)信號采集處理電路將測量干涉光電信號和參照干涉光電信號進行處理，并將處理結果上傳到計算機進行圖像分析和顯示；其中通過分析參照光束的變化，分析出光路對光信息的影響，對測量光束的信息進行修正和補充。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述步驟1)中還包括在測量光源輸出端加入一個偏振態發生器或偏振控制器，將輸出光調節為一個已知的偏振態，該參數用來作為最終測量分析的參考信息。

10.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所步驟2)中還包括阻止所述兩束測量光反射光和參照光反射光回射到所述測量光和參照光被分成兩路以前的光路中。