[發(fā)明專利]用于磨拋機(jī)的磨拋液自動(dòng)輸送裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710303419.4
• 申請(qǐng)日: 2007-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101468450A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣超;程遠(yuǎn)貴;易臻希;周健伊;陳延斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類號(hào): B24B57/02
• 分類號(hào): B24B57/02
• 代理公司: 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司
• 代理人: 馬 強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，具體是指半導(dǎo)體材料表面磨拋機(jī)用磨拋液自動(dòng)輸送裝置。

背景技術(shù)

近幾年來(lái)，隨著紅外熱成像技術(shù)的蓬勃發(fā)展，對(duì)紅外探測(cè)器的需求也與日俱增，對(duì)紅外探測(cè)器組件芯片材料碲鎘汞和碲鋅鎘的加工要求也越來(lái)越高。因此，為磨拋特殊紅外半導(dǎo)體材料碲鎘汞和碲鋅鎘表面而研制的專用磨拋處理設(shè)備——精密磨拋機(jī)的需求也水漲船高。現(xiàn)有的專用磨拋機(jī)大部分還采用手動(dòng)進(jìn)料的方式供給磨拋液，即費(fèi)工又費(fèi)時(shí)，還容易帶入雜質(zhì)污染物；雖然有少部分擁有自動(dòng)進(jìn)料裝置，但其效果不是特別好，不能對(duì)磨拋液進(jìn)行均勻的攪拌，使顆粒度不大于3微米的磨拋液非常容易產(chǎn)生沉淀；同時(shí)，由于采用類似吊瓶“滴液”的方式輸出，使得磨拋液輸出不均勻。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種用于磨拋機(jī)的磨拋液自動(dòng)輸送裝置，它應(yīng)用于加工特殊紅外半導(dǎo)體材料表面的專用磨拋處理設(shè)備——精密磨拋機(jī)上，可以配裝3微米以下磨料的研磨液與各類弱酸及弱堿性拋光液，以滿足實(shí)際使用的需要；該裝置還可用于其他各類專用磨拋設(shè)備。

本發(fā)明的技術(shù)方案是，所述用于磨拋機(jī)的磨拋液自動(dòng)輸送裝置有置于滾輪架的滾輪上的料桶，該料桶一端的端面一側(cè)設(shè)有帶密封蓋的加料口，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，閥座固定安裝在料桶的所述端面上，該閥座位于料桶內(nèi)的一端同取液管的一端連接而該取液管的另一端為靠近料桶柱面內(nèi)壁的進(jìn)料口，所述取液管經(jīng)閥座內(nèi)的通道與該閥座中的錐形腔連通，閥體的一端同閥座位于料桶外的一端固定連接且該閥體上的出料口經(jīng)閥體內(nèi)腔同閥座的所述錐形腔連通；所述閥體的另一端同閥門調(diào)節(jié)螺母的一端用螺紋連接；閥軸裝在貫通閥門調(diào)節(jié)螺母、閥體、閥座的閥軸安裝孔中，該閥軸位于料桶中的一端與閥座的相應(yīng)端之間設(shè)有密封墊圈，且所述閥軸的該端端口經(jīng)該閥軸中的通道及進(jìn)氣口同所述錐形腔連通；可在所述閥軸安裝孔中作軸向移動(dòng)的所述閥軸的錐形段位于所述閥座的錐形腔部位而組成閥座通道的開(kāi)閉結(jié)構(gòu)，所述閥門調(diào)節(jié)螺母的閥軸安裝孔管底端位于所述閥軸的臺(tái)階上；閥體的所述另一端端面上固定安裝有三個(gè)在同一圓周平面上均勻分布的銷柱，各銷柱上分別套裝有位于閥體的該端面與鎖緊螺母之間的彈簧，所述鎖緊螺母裝在閥門調(diào)節(jié)螺母另一端內(nèi)底面；所述閥軸位于閥門調(diào)節(jié)螺母外的一端固定裝有止動(dòng)桿安裝塊，且壓緊彈簧裝在該止動(dòng)桿安裝塊與閥門調(diào)節(jié)螺母之間，止動(dòng)桿安裝塊上裝有止動(dòng)桿。

以下對(duì)本發(fā)明做出進(jìn)一步說(shuō)明。

參見(jiàn)圖1和圖2，本發(fā)明有置于滾輪架的滾輪28上的料桶16，該料桶16一端的端面一側(cè)設(shè)有帶密封蓋11的加料口，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，閥座9固定安裝在料桶16的所述端面上，該閥座9位于料桶16內(nèi)的一端同取液管13的一端連接而該取液管13的另一端為靠近料桶16柱面內(nèi)壁的進(jìn)料口，所述取液管13經(jīng)閥座9內(nèi)的通道與該閥座9中的錐形腔20連通，閥體8的一端同閥座9位于料桶16外的一端固定連接且該閥體8上的出料口21經(jīng)閥體8內(nèi)腔同閥座9的所述錐形腔20連通；所述閥體8的另一端同閥門調(diào)節(jié)螺母7的一端用螺紋連接；閥軸15裝在貫通閥門調(diào)節(jié)螺母7、閥體8、閥座9的閥軸安裝孔中，該閥軸15位于料桶16中的一端與閥座9的相應(yīng)端之間設(shè)有密封墊圈14，且所述閥軸15的該端端口經(jīng)該閥軸中的通道及進(jìn)氣口24同所述錐形腔20連通；可在所述閥軸安裝孔中作軸向移動(dòng)的所述閥軸15的錐形段19位于所述閥座9的錐形腔20部位而組成閥座通道的開(kāi)閉結(jié)構(gòu)，所述閥門調(diào)節(jié)螺母7的閥軸安裝孔管23底端為于所述閥軸15上的臺(tái)階22上；閥體8的所述另一端端面上固定安裝有三個(gè)在同一圓周平面上均勻分布的銷柱5，各銷柱5上分別套裝有位于閥體8的該端面與鎖緊螺母4之間的彈簧6，所述鎖緊螺母4裝在閥門調(diào)節(jié)螺母7另一端內(nèi)底面；所述閥軸15位于閥門調(diào)節(jié)螺母7外的一端固定裝有止動(dòng)桿安裝塊1，且壓緊彈簧3裝在該止動(dòng)桿安裝塊1與閥門調(diào)節(jié)螺母7之間，止動(dòng)桿安裝塊1上裝有止動(dòng)桿2。