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[發明專利]變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統有效

專利信息
申請號: 200710302541.X 申請日: 2007-12-28
公開(公告)號: CN101256266A 公開(公告)日: 2008-09-03
發明(設計)人: 吳華夏;楊新軍;余曉芬;史新剛 申請(專利權)人: 安徽華東光電技術研究所
主分類號: G02B15/16 分類號: G02B15/16;G02B1/00;G02B26/10
代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 代理人: 徐暉
地址: 241000安徽省蕪*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 變焦 nd yag 激光 掃描 theta 系統
【權利要求書】:

1.一種變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,包括光闌(1-1)、折射透鏡系統、掃描平面(1-10),其特征是:該折射透鏡系統包括第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14),所述光闌(1-1)、第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)、第四折射透鏡(1-14)、掃描平面(1-10)沿同軸方向依次排布,第二折射透鏡(1-12)和第三折射透鏡(1-13)用于系統調焦,第二折射透鏡(1-12)和第三折射透鏡(1-13)可沿光軸方向移動從而使該系統工作在不同的有效焦距上,折射透鏡系統的總長度保持不變。

2.根據權利要求1所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征在是:所述的有效焦距的范圍是350mm-400mm。

3.根據權利要求1所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征是:第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14)的各個面型均為標準球面。

4.根據權利要求1或3所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征還在于:第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14)的材料可以選自BK7、SF18和SF11其中一種,或選自其中兩種或三種。

5.根據權利要求1或2所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征是:第一折射透鏡(1-11)是凹透鏡,第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14)是凸透鏡。

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