[發明專利]變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統有效
| 申請號: | 200710302541.X | 申請日: | 2007-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN101256266A | 公開(公告)日: | 2008-09-03 |
| 發明(設計)人: | 吳華夏;楊新軍;余曉芬;史新剛 | 申請(專利權)人: | 安徽華東光電技術研究所 |
| 主分類號: | G02B15/16 | 分類號: | G02B15/16;G02B1/00;G02B26/10 |
| 代理公司: | 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 | 代理人: | 徐暉 |
| 地址: | 241000安徽省蕪*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 變焦 nd yag 激光 掃描 theta 系統 | ||
1.一種變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,包括光闌(1-1)、折射透鏡系統、掃描平面(1-10),其特征是:該折射透鏡系統包括第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14),所述光闌(1-1)、第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)、第四折射透鏡(1-14)、掃描平面(1-10)沿同軸方向依次排布,第二折射透鏡(1-12)和第三折射透鏡(1-13)用于系統調焦,第二折射透鏡(1-12)和第三折射透鏡(1-13)可沿光軸方向移動從而使該系統工作在不同的有效焦距上,折射透鏡系統的總長度保持不變。
2.根據權利要求1所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征在是:所述的有效焦距的范圍是350mm-400mm。
3.根據權利要求1所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征是:第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14)的各個面型均為標準球面。
4.根據權利要求1或3所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征還在于:第一折射透鏡(1-11)、第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14)的材料可以選自BK7、SF18和SF11其中一種,或選自其中兩種或三種。
5.根據權利要求1或2所述的變焦Nd-YAG激光掃描f-theta鏡系統,其特征是:第一折射透鏡(1-11)是凹透鏡,第二折射透鏡(1-12)、第三折射透鏡(1-13)和第四折射透鏡(1-14)是凸透鏡。
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