[發(fā)明專利]光致抗蝕劑的脫膜工藝及在該工藝中使用的第一組合物、第二組合物和脫膜劑水溶液

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710302467.1
• 申請日: 2007-12-27
• 公開（公告）號: CN101226346A
• 公開（公告）日: 2008-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周偉
• 申請（專利權(quán)）人: 周偉
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;H01L21/311
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務(wù)所有限公司
• 代理人: 孫仿衛(wèi)

?????????????????????????技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于脫除電路板制造過程中使用的光致抗蝕劑的脫膜工藝，及在該工藝中使用的第一組合物、第二組合物和脫膜劑水溶液。

?????????????????????????背景技術(shù)

隨著電路板制造工藝的發(fā)展，電路板銅導(dǎo)線變得越來越細，過孔的直徑也越來越小，超細導(dǎo)線精密電路板的制造必須使用高解析度的光致抗蝕劑干膜，該光致抗蝕劑干膜難以用傳統(tǒng)的脫膜工藝徹底脫除。同時，隨著選擇性化學鍍鎳/化學鍍金工藝的普及，如何脫除經(jīng)長時間高溫浸泡后的專用干膜，也變成了一個必須解決工藝問題。

傳統(tǒng)的脫膜工藝是將配方固定的任一種脫膜劑與水按照一定的比例混合后，加入脫膜生產(chǎn)線的脫膜槽中，在一定的溫度、噴淋壓力和傳送速度下與電路板接觸，進行脫膜操作。

現(xiàn)有技術(shù)中常用的脫膜劑為以醇銨類為主要成份的脫膜劑，一般均包括有機胺、有機溶劑、抗氧化劑、消泡劑等組分。

此類脫膜劑及脫膜工藝，對上述兩類光致抗蝕劑的脫膜效果一般，存在脫膜速度慢，電路板板面干膜殘留多，小孔內(nèi)干膜去除不盡等問題。

?????????????????????????發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的是提供一種脫膜速度快，無干膜殘留的脫膜工藝，及在該工藝中使用的第一組合物、第二組合物和脫膜劑水溶液。

為達到以上目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種光致抗蝕劑的脫膜工藝，該脫膜工藝包括以下步驟：

(1)、將第一組合物、第二組合物混合配成由質(zhì)量百分比如下的各組分組成的脫膜劑水溶液：

第一類有機胺：0.5～12％；

第二類有機胺：0.5～15％；

有機溶劑：0.5～9％；

抗氧化劑：0.05～1.5％；

消泡劑：0.05～1.5％；

穩(wěn)定劑：0.05～1.5％

所述的第一組合物包含第一類有機胺、有機溶劑、抗氧化劑，所述的第一類有機胺選自三甲胺、三乙胺、乙二胺、一乙醇胺、二乙醇胺、一異丙醇胺、三乙醇胺、1-甲基哌嗪中的一種或多種；

所述的第二組合物包含第二類有機胺、穩(wěn)定劑，所述的第二類有機胺選自四甲基氫氧化胺、四乙基氫氧化銨、二甲基甲酰胺中的一種或多種；

(2)、令所述脫膜劑與電路板進行接觸，進行光致抗蝕劑的脫膜操作。

在所述的步驟(2)的脫膜操作過程中，需要至少一次向脫膜劑水溶液內(nèi)添加所述第一組合物或第二組合物或水，使得所述脫膜劑水溶液中各組分的重量百分比保持在如下范圍內(nèi)：

第一類有機胺：0.5～12％；

第二類有機胺：0.5～15％；

有機溶劑：0.5～9％；

抗氧化劑：0.05～1.5％；

消泡劑：0.05～1.5％；

穩(wěn)定劑：0.05～1.5％

所述第一組合物中各組分的重量百分比如下：

第一類有機胺：1～40％，

有機溶劑：1～30％，

抗氧化劑：0.1～5％，

消泡劑：0.1～5％，

其余為水；

所述第二組合物中各組分的重量百分比如下：

第二類有機胺：0.1～50％，

穩(wěn)定劑：0.1～5％，

其余為水；

在所述步驟1中，所述脫膜劑水溶液包含體積百分比為5～30％的第一組合物和體積百分比為5～30％的第二組合物，其余為水。

所述的有機溶劑選自乙二醇、二甘醇、乙二醇苯醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚中的一種或多種；

所述的抗氧化劑選自氨基三唑、硝基苯駢三氮唑、甲基苯駢三氮唑、苯駢三氮唑中的一種或多種；

所述的消泡劑選自辛醇、礦物油、磷酸三丁酯中的一種或多種；

所述的穩(wěn)定劑選自鄰苯二酚、沒食子酸、沒食子酸甲脂一種或多種。

所述的步驟(2)中，令所述脫膜劑與電路板進行接觸為將所述脫膜劑水溶液噴淋至位于傳送帶上的電路板上，所述的噴淋時的噴淋壓力為1.0～2.0公斤/平方厘米，所述傳送帶的傳送速度為0.5～3米/分鐘，所述脫膜劑水溶液的工作溫度為40～60攝氏度。

一種在如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑的脫膜工藝中使用的第一組合物，該第一組合物為包含第一類有機胺、有機溶劑、抗氧化劑和消泡劑的水溶液。

該第一組合物由重量百分含量如下的組分組成：

第一類有機胺：1～40％，

有機溶劑：1～30％，

抗氧化劑：0.1～5％，