[發(fā)明專(zhuān)利]圖像傳感器和其制造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710302128.3
• 申請(qǐng)日: 2007-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101207148A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹盈提
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東部高科股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/146;H01L21/822
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 劉繼富;蔡勝有

1.一種圖像傳感器，包括：

半導(dǎo)體襯底；

在所述半導(dǎo)體襯底上的第一像素區(qū)中的第一光電二極管、第二像素區(qū)中的第二光電二極管、和第三像素區(qū)中的第三光電二極管；

在所述半導(dǎo)體襯底上的絕緣層結(jié)構(gòu)，其中所述絕緣層結(jié)構(gòu)包括在所述第三像素區(qū)域上的溝槽；和

在所述絕緣層結(jié)構(gòu)上的濾色器結(jié)構(gòu)，所述濾色器結(jié)構(gòu)包括對(duì)應(yīng)于所述第一像素區(qū)的第一濾色器，對(duì)應(yīng)于所述第二像素區(qū)的第二濾色器，和對(duì)應(yīng)于所述第三像素區(qū)域的第三濾色器；

其中在所述溝槽上提供所述第三濾色器。

2.權(quán)利要求1的圖像傳感器，還包括在所述濾色器結(jié)構(gòu)上的微透鏡。

3.權(quán)利要求1的圖像傳感器，其中所述溝槽具有大約400nm的厚度。

4.權(quán)利要求1的圖像傳感器，其中所述第三濾色器比所述第一濾色器厚；和其中所述第一濾色器的上表面與所述第二濾色器的上表面和所述第三濾色器的上表面大致平齊。

5.權(quán)利要求1的圖像傳感器，其中所述第一濾色器的厚度大致等于所述第二濾色器的厚度。

6.權(quán)利要求1的圖像傳感器，其中所述絕緣層結(jié)構(gòu)還包括：

在所述第二像素區(qū)域上的第二溝槽，其中所述第二濾色器提供在所述第二溝槽上。

7.權(quán)利要求6的圖像傳感器，其中所述第二濾色器比所述第一濾色器厚，和其中所述第三濾色器比所述第二濾色器厚。

8.權(quán)利要求7的圖像傳感器，其中所述第一濾色器的上表面與所述第二濾色器的上表面以及所述第三濾色器的上表面大致平齊。

9.權(quán)利要求1的圖像傳感器，其中所述第一濾色器是藍(lán)色濾色器，所述第二濾色器是綠色濾色器，所述第三濾色器是紅色濾色器。

10.一種制造圖像傳感器的方法，包括：

在半導(dǎo)體襯底上形成包括第一光電二極管、第二光電二極管和第三光電二極管的光電二極管區(qū)域；

形成絕緣層結(jié)構(gòu)，所述絕緣層結(jié)構(gòu)包括在所述第三光電二極管上形成的溝槽；

在所述第一光電二極管上方，在所述絕緣層結(jié)構(gòu)的上表面上形成第一濾色器；

在所述第二光電二極管上方，在所述絕緣層結(jié)構(gòu)的上表面上形成第二濾色器；和

在所述第三光電二極管上方，在所述絕緣層結(jié)構(gòu)的溝槽中形成第三濾色器。

11.權(quán)利要求10的方法，其中形成所述絕緣層結(jié)構(gòu)包括：

在絕緣層上沉積光刻膠材料；

曝光和顯影所述光刻膠膜以形成光刻膠圖案；和

利用所述光刻膠圖案作為蝕刻掩模蝕刻所述絕緣層以形成所述溝槽；

其中用于曝光所述光刻膠膜的曝光掩模與用于曝光形成所述第三濾色器的材料的曝光掩模相同。

12.權(quán)利要求11的方法，其中所述光刻膠膜是正性光刻膠材料，用于形成所述第三濾色器材料的所述材料是負(fù)性光刻膠材料。

13.權(quán)利要求10的方法，其中形成所述絕緣層結(jié)構(gòu)包括通過(guò)反應(yīng)性離子刻蝕來(lái)蝕刻絕緣層以形成所述溝槽。

14.權(quán)利要求10的方法，其中所述溝槽具有大約400nm的深度。

15.權(quán)利要求10的方法，其中所述第二濾色器的厚度與所述第一濾色器的厚度大致相等；和其中所述第三濾色器比所述第一濾色器厚；和其中所述第一濾色器的上表面與所述第二濾色器的上表面和所述第三濾色器的上表面大致平齊。

16.權(quán)利要求10的方法，其中所述絕緣層結(jié)構(gòu)還包括：

在所述第二光電二極管上的第二溝槽，其中所述第二濾色器形成在所述第二溝槽上。

17.權(quán)利要求16的方法，其中所述第二濾色器比所述第一濾色器厚，和其中所述第三濾色器比所述第二濾色器厚。

18.權(quán)利要求10的方法，其中所述第一濾色器的上表面與所述第二濾色器的上表面和所述第三濾色器的上表面大致平齊。

19.權(quán)利要求10的方法，其中所述第一濾色器是藍(lán)色濾色器，所述第二濾色器是綠色濾色器，和所述第三濾色器是紅色濾色器。

20.權(quán)利要求11的方法，還包括在每個(gè)所述第一濾色器、所述第二濾色器和所述第三濾色器上形成微透鏡。