[發明專利]一種用于掃描力顯微鏡上安裝懸臂梁探針的卡具

有效

• 申請號: 200710301961.6
• 申請日: 2007-12-24
• 公開（公告）號: CN101183568A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發明（設計）人: 陳曉梅;馬曉蘇;朱振宇
• 申請（專利權）人: 中國航空工業第一集團公司北京長城計量測試技術研究所
• 主分類號: G12B21/22
• 分類號: G12B21/22;G12B21/02
• 代理公司: 中國航空專利中心
• 代理人: 李建英

1.一種用于掃描力顯微鏡上安裝懸臂梁探針的卡具，其特征是，卡具由楔形塊[1]、磁鐵[3]、卡具主體[4]和緊固小螺栓[5]組成，卡具主體[4]的下半部為筒體，上半部的一側帶有凸耳[8]，凸耳[8]上開有至筒體內壁的開口槽[12]，開口槽[12]將凸耳[8]分為兩片，一片上開螺紋孔，另一片上開光孔；卡具主體[4]的上半部在帶有凸耳[8]一側的內圓中設置半圓形平臺[11]，半圓形平臺[11]自圓心徑向開有使入射至懸臂梁探針針尖背面的激光束通過的凹槽[7]，半圓形平臺[11]的底部開有中心對稱并與楔形塊[1]寬度和楔形塊[1]上底邊[9]厚度相同的通槽[13]，通槽[13]中嵌入楔形塊[1]；卡具主體[4]上半部與下半部接壤處的外緣上沿凸耳[8]向卡具主體[4]中心開狹槽[6]。

2.根據權利要求1所述的一種用于掃描力顯微鏡上安裝懸臂梁探針的卡具，其特征在于，卡具主體[4]為整體結構，筒體內的半圓平臺[11]與卡具主體[4]的外緣為一體，卡具主體[4]的下半部筒體為空心，卡具主體[4]的上半部筒體中一半為半圓平臺[11]，另一半為鏤空通孔。

3.根據權力要求1所述的一種用于掃描力顯微鏡上安裝懸臂梁探針的卡具，其特征在于，楔形塊[1]的平面的中心開有圓形槽[14]，圓形槽[14]內置入與圓形槽[14]體積相同的磁鐵[3]，楔形塊[1]的楔形面下底邊[10]向上底邊[9]方向開有懸臂梁探針安裝槽[15]，楔形塊[1]的平面與楔形面的夾角為12°。