[發(fā)明專利]液滴噴出頭、轉換元件、壓電裝置、機電系統(tǒng)結構、執(zhí)行機構、壓電傳感器、壓電電動機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710301603.5
• 申請日: 2007-12-20
• 公開（公告）號: CN101239532A
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發(fā)明（設計）人: 加藤治郎
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/045;H01L41/08
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余剛;尚志峰

1.?一種液滴噴出頭，其特征在于，包括：

基板；

腔部，位于所述基板的第一面?zhèn)龋?/p>

壓電薄膜，位于所述基板的第二面?zhèn)龋⑴渲迷谂c所述腔部對置的區(qū)域上；

蓋部，位于所述基板的所述第一面?zhèn)龋哂胸灤┛祝遗渲贸筛采w所述腔部；以及

槽，位于所述基板的所述第二面?zhèn)龋⑴渲迷谘厮鰤弘姳∧さ亩瞬康姆较蛏稀?/p>

2.?根據(jù)權利要求1所述的液滴噴出頭，其特征在于，

在將所述壓電薄膜的靠近所述槽側的端部、與所述槽的靠近所述壓電薄膜的端部之間的距離設定為x，并將所述槽的深度設定為d的情況下，所述槽滿足以下關系式1：

0.2d(-4.6x+42.8)≥1????關系式1，

其中，x和d的單位為μm。

3.?根據(jù)權利要求1所述的液滴噴出頭，其特征在于，

在將所述壓電薄膜的靠近所述槽側的端部、與所述槽的靠近所述壓電薄膜的端部之間的距離設定為x，將所述槽的深度為d的情況下，所述槽滿足以下關系式2：

0.2d(-4.6x+42.8)≥5????關系式2，

其中，x和d的單位為μm。

4.?根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述壓電薄膜的靠近所述槽側的端部與所述槽的靠近所述壓電薄膜的端部之間的距離為1μm以上。

5.?根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的液滴噴出頭，其特征在于，

在所述液滴噴出頭中形成有所述槽，所述槽的深度為10μm以下。

6.?根據(jù)權利要求1至5中任一項所述的液滴噴出頭，其特征在于，

在所述槽中配置有與所述基板相比拉伸彈性模量小的填充物。

7.?根據(jù)權利要求1至6中任一項所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述基板含有硅。

8.?根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述填充物是多孔氧化硅。

9.?根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述腔部包括：

貫穿孔部，貫穿所述基板；以及

可動板，位于所述基板的所述第二面?zhèn)龋采w所述貫穿孔部。

10.?根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述腔部將所述基板的一部分用作可動板。

11.?一種液滴噴出頭，其特征在于，包括：

基板；

腔部，形成在所述基板上；

蓋部件，配置于所述基板的第一面?zhèn)龋⒕哂杏糜趪姵鏊銮徊績鹊囊后w的噴出口；

可動板，配置于所述基板的第二面?zhèn)龋?/p>

材料加壓體，與所述可動板接觸，并通過第一電極和第二電極來夾持壓電薄膜；以及

槽或凹部，設置在所述基板的所述第二面?zhèn)取?/p>

12.?一種能量轉換元件，其特征在于，包括：

基板；

可撓部，配置于所述基板的第一面?zhèn)龋?/p>

能量轉換部，將電力轉換為所述可撓部的撓曲、或者將所述可撓部的撓曲轉換為電力；以及

槽和凹部中的至少一個，沿所述能量轉換部的端部，設置在所述基板的所述第一面?zhèn)取?/p>

13.?根據(jù)權利要求12所述的能量轉換元件，其特征在于，

在將所述能量轉換部的靠近所述槽或所述凹部側的端部、與所述槽或所述凹部的靠近所述能量轉換部的端部之間的距離設定為x，并將所述槽或所述凹部的深度設定為d的情況下，所述槽或所述凹部滿足以下關系式4：

0.2d(-4.6x+42.8)≥1????關系式4，

其中，x和d的單位為μm。

14.?根據(jù)權利要求12所述的能量轉換元件，其特征在于，

在將所述能量轉換部的靠近所述槽或所述凹部側的端部、與所述槽或所述凹部的靠近所述能量轉換部的端部之間的距離設定為x，并將所述槽或所述凹部的深度設定為d的情況下，所述槽或所述凹部滿足以下關系式5：

0.2d(-4.6x+42.8)≥5????關系式5，

其中，x和d的單位為μm。