[發明專利]復色超分辨差動共焦測量方法與裝置

有效

• 申請號: 200710301423.7
• 申請日: 2007-12-27
• 公開（公告）號: CN101182992A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發明（設計）人: 譚久彬;劉儉
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/02;G01B11/22;G01B11/24
• 代理公司: 北京英特普羅知識產權代理有限公司
• 代理人: 齊永紅

1.一種復色超分辨差動共焦測量裝置，其特征在于：包括：第一超分辨差動共焦測量裝置，用于輸出具有第一波長的第一測量相干光束，以及接收具有第一波長的第一反射光束，并產生第一近焦探測器輸出和第一遠焦探測器輸出；

第二超分辨差動共焦測量裝置，用于輸出具有第二波長的第二測量相干光束，以及接收具有第二波長的第二反射光束，并產生第二近焦探測器輸出和第二遠焦探測器輸出；

二向色鏡，所述第一測量相干光束和第二測量相干光束分別呈45度角入射至該二向色鏡，該二向色鏡用以匯合第一測量相干光束和第二測量相干光束，并且用以將從部分色差校正物鏡透射回的光束分離為具有第一波長的第一反射光束和具有第二波長的第二反射光束；

部分色差校正物鏡，設置于二向色鏡與被測物之間，用以將第一測量相干光束和第二測量相干光束匯合后的光束分別聚焦于遠離部分色差校正物鏡的第一焦平面和臨近部分色差校正物鏡的第二焦平面，其中，第一焦平面為第一測量相干光束的聚焦平面，第二焦平面為第二測量相干光束的聚焦平面，且保證第一焦平面與第二焦平面的位置差不大于第一超分辨差動共焦測量裝置的線性測量區一半與第二超分辨差動共焦測量裝置線性測量區一半之和；部分色差校正物鏡還用以將位于第一焦平面和第二焦平面之間的被測物反射的光透射至二向色鏡；

以及，

計算機裝置，讀取并記錄第一近焦探測器輸出、第一遠焦探測器輸出、第二近焦探測器輸出和第二遠焦探測器輸出，并分別根據第一近焦探測器輸出與第一遠焦探測器輸出之差生成第一軸向測量響應曲線，以及根據第二遠焦探測器輸出和第二近焦探測器輸出之差生成第二軸向測量響應曲線。

2.一種基于權利要求1的復色超分辨差動共焦測量裝置的一種測量方法，該方法包括以下步驟：參照第一軸向測量響應曲線，當檢測到第一近焦探測器輸出與第一遠焦探測器輸出之差等于第二遠焦探測器輸出和第二近焦探測器輸出之差時，參照第二軸向測量響應曲線。