[發(fā)明專利]貼片膠涂敷裝置及涂敷方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710300852.2
• 申請日: 2007-12-29
• 公開（公告）號: CN101468340A
• 公開（公告）日: 2009-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜茂華
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社;三星半導(dǎo)體(中國)研究開發(fā)有限公司
• 主分類號: B05C1/10
• 分類號: B05C1/10;B05C13/02;B05C11/00;B05D1/28;B05D3/12
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 郭鴻禧;李云霞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種貼片膠涂敷裝置及涂敷方法，更具體地講，本發(fā)明涉及一種提高了貼片膠涂敷效率的貼片膠涂敷裝置及涂敷方法。

背景技術(shù)

貼片膠被廣泛地應(yīng)用在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域中，用于固定芯片。目前用于涂敷貼片膠的方法主要有兩種，一種為點膠法，另一種為印刷法。

圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)的用于涂敷貼片膠的點膠方法。參照圖1，現(xiàn)有技術(shù)的涂敷貼片膠的點膠方法包括以下步驟：提供涂膠臺101，用于對后續(xù)涂敷工藝提供支撐；將待涂敷基板105放置在涂膠臺101上，其中，待涂敷基板105具有預(yù)定涂敷區(qū)域；通過噴嘴106將貼片膠104滴落在基板105的預(yù)定涂敷區(qū)域上，其中，噴嘴106可以調(diào)節(jié)貼片膠104的輸出量。因此，貼片膠104被準確地涂敷在待涂敷基板105的預(yù)定涂敷區(qū)域上。

圖2示出了現(xiàn)有技術(shù)的用于涂敷貼片膠的印刷方法。參照圖2，現(xiàn)有技術(shù)的涂敷貼片膠的印刷方法包括以下步驟：提供涂膠臺101，用于對后續(xù)涂敷工藝提供支撐；將待涂敷基板105放置在涂膠臺101上，其中，待涂敷基板105具有預(yù)定涂敷區(qū)域；在待涂敷基板105上方設(shè)置網(wǎng)板102，使得網(wǎng)板102的開口區(qū)域與待涂敷基板105的預(yù)定涂敷區(qū)域?qū)?yīng)，可以通過調(diào)節(jié)網(wǎng)板102的厚度來確定在待涂敷基板105上涂敷的貼片膠104的厚度；將刮刀103從網(wǎng)板102的一端向另一端移動，使得刮刀103帶動貼片膠104沿著網(wǎng)板102運動，于是貼片膠102被均勻地涂敷在待涂敷基板105的預(yù)定涂敷區(qū)域上。

在上述兩種方法中，采用參照圖1的點膠方法只能對待涂敷基板105上的預(yù)定涂敷區(qū)域進行單個涂敷，效率低。采用參照圖2的印刷方法雖然能夠同時完成對一塊基板的涂敷操作，可以在一定程度上提高生產(chǎn)效率，但是在完成對一塊基板的涂敷操作之后，必須抬起網(wǎng)板102來加載新的待涂敷基板，在完成新基板的加載之后，再將網(wǎng)板102落下，繼續(xù)進行涂敷工藝。對于工業(yè)化生產(chǎn)而言，網(wǎng)板102的抬起和落下都會占用生產(chǎn)時間，從而降低生產(chǎn)效率。

因此，需要一種提高了生產(chǎn)效率的貼片膠涂敷方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的生產(chǎn)效率低的問題，提供準確性好并且生產(chǎn)效率高的貼片膠涂敷裝置及涂敷方法。

根據(jù)本發(fā)明的貼片膠涂敷裝置通過利用具有與待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域?qū)?yīng)的鏤空網(wǎng)眼的滾輪狀網(wǎng)板來完成對待涂敷基板的涂敷，通過驅(qū)動裝置使得滾輪狀網(wǎng)板和待涂敷基板同時運動，在滾輪狀網(wǎng)板和待涂敷基板運動的同時，貼片膠流到滾輪狀網(wǎng)板上，并且穿過滾輪狀網(wǎng)板的網(wǎng)眼而被涂敷到待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域上。因此，根據(jù)本發(fā)明的貼片膠涂敷裝置在保證貼片膠準確地涂敷到待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域的同時，提高了貼片膠的涂敷效率。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了這樣一種貼片膠涂敷裝置，所述貼片膠涂敷裝置包括：涂膠臺，該涂膠臺用來支撐待涂敷基板；滾輪狀網(wǎng)板，該滾輪狀網(wǎng)板上形成與所述待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域?qū)?yīng)的多個鏤空網(wǎng)眼；刮刀，該刮刀位于所述滾輪狀網(wǎng)板內(nèi)部；外部加壓裝置，該外部加壓裝置用于對貼片膠加壓；第一驅(qū)動裝置，該第一驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述滾輪狀網(wǎng)板，使得滾輪狀網(wǎng)板在待涂敷基板的表面上方繞其中心旋轉(zhuǎn)；第二驅(qū)動裝置，該第二驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述待涂敷基板，使得待涂敷基板在涂膠臺的表面上水平運動；其中，當所述滾輪狀網(wǎng)板旋轉(zhuǎn)并且所述待涂敷基板水平運動時，所述外部加壓裝置對貼片膠加壓，使得所述貼片膠沿著所述刮刀流到所述滾輪狀網(wǎng)板上，并且穿過所述滾輪狀網(wǎng)板的鏤空網(wǎng)眼而被涂敷到所述待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域上。

優(yōu)選地，所述滾輪狀網(wǎng)板還包括旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸穿過滾輪狀網(wǎng)板的中心，所述滾輪狀網(wǎng)板通過所述第一驅(qū)動裝置的驅(qū)動圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。

根據(jù)本發(fā)明的所述待涂敷基板可以為平板形或者卷帶形。

根據(jù)本發(fā)明的貼片膠涂敷方法通過利用具有與待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域?qū)?yīng)的鏤空網(wǎng)眼的滾輪狀網(wǎng)板來完成對待涂敷基板的涂敷，通過驅(qū)動裝置使得滾輪狀網(wǎng)板和待涂敷基板同時運動，在滾輪狀網(wǎng)板和待涂敷基板運動的同時，貼片膠流到滾輪狀網(wǎng)板上，并且穿過滾輪狀網(wǎng)板的網(wǎng)眼而被涂敷到待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域上。因此，根據(jù)本發(fā)明的貼片膠涂敷方法在保證貼片膠準確地涂敷到待涂敷基板的預(yù)定涂敷區(qū)域的同時，提高了貼片膠的涂敷效率。