[發(fā)明專利]隔離子及場致發(fā)射顯示器件的制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710300734.1 | 申請日： | 2007-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN101217087A | 公開（公告）日： | 2008-07-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張莉 | 申請（專利權(quán)）人： | 彩虹集團(tuán)公司 |
| 主分類號： | H01J9/24 | 分類號： | H01J9/24;H01J9/02;H01J9/00;H01J31/12 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 陸萬壽 |
| 地址： | 71202*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 隔離 發(fā)射 顯示 器件 制造 方法 | ||
1.一種隔離子的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：
a、清潔制作陰極電極的平板玻璃；
b、在玻璃上涂覆一層感光膠，并進(jìn)行刻蝕，形成隔離子并剝離剩余的感光膠；
c、在此結(jié)構(gòu)上再涂覆一層感光膠，通過掩模版進(jìn)行第二次曝光，經(jīng)過曝光刻蝕后，剝離剩余的感光膠。
2.如權(quán)利要求1所述的隔離子的制造方法，其特征在于：
步驟a中采用超聲波、純水、或二流體清洗方法。
3.如權(quán)利要求1所述的隔離子的制造方法，其特征在于：
步驟b中使用玻璃刻蝕液進(jìn)行刻蝕，且光刻膠不受玻璃刻蝕液影響。
4.如權(quán)利要求1所述的隔離子的制造方法，其特征在于：
步驟b中刻蝕前通過曝光去除多余的感光膠。
5.一種場致發(fā)射顯示器件的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：
a、清潔制作陰極電極的平板玻璃；
b、以權(quán)利要求1至4中任意一種方法在玻璃表面上制作隔離子；
c、在形成隔離子的玻璃上制作陰極電極接觸面；
d、在玻璃上制作形成陰極電極和柵極電極；
e、在陰極電極上制作出發(fā)射材料，與涂敷有熒光粉、黑條、和陽極電極的另一玻璃基板進(jìn)行封接。
6.如權(quán)利要求5所述的場致發(fā)射顯示器件的制造方法，其特征在于：
步驟e中保持隔離子與黑條一一對應(yīng)。
7.如權(quán)利要求5所述的場致發(fā)射顯示器件的制造方法，其特征在于：
步驟d中采用真空蒸鍍或磁控濺射方法。
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