[發明專利]濺鍍基材固持裝置

無效

• 申請號: 200710201260.5
• 申請日: 2007-08-02
• 公開（公告）號: CN101358333A
• 公開（公告）日: 2009-02-04
• 發明（設計）人: 駱世平
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種濺鍍基材固持裝置，用于在濺鍍過程中對基材進行固持，所述基材具有一濺鍍表面及一與所述濺鍍表面相鄰的側面，所述濺鍍基材固持裝置包括：

一個基板，用于承載所述基材；

多個夾持單元，其環繞所述基材分布在基板上，以分別從所述基材的側面抵持住該基材，所述多個夾持單元為多個抵片，所述抵片包括一基部及一從所述基部一端延伸出來的延伸部，且所述延伸部垂直于所述基部，所述抵片的基部從所述基材的側面抵持住該基材；

多個固持單元，其分別穿過所述基板及所述多個抵片的基部，以將所述多個抵片固定在基板上。

2.如權利要求1所述的濺鍍基材固持裝置，其特征在于，所述多個夾持單元分別包括一個鐵氟龍膜層，所述鐵氟龍膜層與所述基材的側面相接觸。

3.如權利要求1所述的濺鍍基材固持裝置，其特征在于，所述基板的側面上開設有多個基準孔，所述抵片的基部開設有與所述基準孔相配合的定位孔，所述固持單元可穿過所述基準孔及所述定位孔以將所述抵片固定在所述基板上。

4.如權利要求1所述的濺鍍基材固持裝置，其特征在于，所述基準孔為螺紋通孔或螺紋盲孔。

5.如權利要求1所述的濺鍍基材固持裝置，其特征在于，所述定位孔為螺紋通孔。

6.如權利要求1所述的濺鍍基材固持裝置，其特征在于，所述固持單元為螺釘或螺栓。

7.如權利要求1所述的濺鍍基材固持裝置，其特征在于，所述基材為圓柱形結構。