[發(fā)明專利]一種靜電壓表校正總成、其制作方法與其校正方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710196943.6
• 申請日: 2007-12-06
• 公開（公告）號: CN101452066A
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭茂森
• 申請（專利權(quán)）人: 京元電子股份有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周國城

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種靜電壓表的校正總成、其制作方法與其校正方法，特別指一種具有粗調(diào)與微調(diào)的結(jié)構(gòu)可精確校正靜電壓表的靜電壓表校正總成。

背景技術(shù)

在目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，靜電防護主要執(zhí)行目的為以下四點：

(1)增加生產(chǎn)量(Increased?Yields)：因若靜電防護不佳，很可能在生產(chǎn)半導(dǎo)體組件過程中因靜電的影響，而導(dǎo)致組件的破壞。而且每一制程過程中，皆有靜電破壞影響的可能。因此合適的靜電防護，可增加生產(chǎn)量。

(2)節(jié)省成本(Cost?Saying)：因半導(dǎo)體組件的制程良率較高，相對的制程成本可降低。因此合適的靜電防護，可節(jié)省成本。

(3)產(chǎn)品可靠性較佳(Better?Product?Reliability)：在半導(dǎo)體組件封裝前，必須避免組件受靜電破壞的可能。因此合適的靜電防護，可使產(chǎn)品的可靠性較佳。

(4)產(chǎn)品壽命較長(Extended?Usage?Life)：因靜電量會累積，若于制程過程中可避免靜電量的累積于半導(dǎo)體組件上，可使得未來半導(dǎo)體組件的產(chǎn)品壽命較長。因此合適的靜電防護，可使產(chǎn)品的壽命較長。

因此，靜電防護的重要性不言而喻。而靜電防護主要透過量測機臺的靜電量以進(jìn)行機臺的防護。其中，靜電量的量測主要是透過靜電壓表進(jìn)行量測。而傳統(tǒng)靜電壓表的校正方式，僅是透過簡單手動校正方式進(jìn)行校正，并無較準(zhǔn)確的校正方式以校正靜電壓表。若校正的準(zhǔn)確度較低，可能因為靜電壓表量測不準(zhǔn)確，導(dǎo)致制程機器的靜電量持續(xù)累積，最后可能會導(dǎo)致所制作出的半導(dǎo)體組件因靜電量太大，而導(dǎo)致組件的破壞。然而準(zhǔn)確的靜電壓表的校正結(jié)構(gòu)與校正方法，為半導(dǎo)體組件的自動化測試設(shè)備中不可或缺的。所以如何提供一種準(zhǔn)確的靜電壓表的校正結(jié)構(gòu)與校正方法，乃為產(chǎn)業(yè)界的一迫切課題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問題，本發(fā)明主要提出一種用于靜電測試的靜電壓測器校正總成，用于準(zhǔn)確地校正靜電壓測器。此靜電壓測器校正總成特征在于此校正總成具有高壓板，設(shè)置在該卡持部行進(jìn)方向的前端，具有一輸入端以輸入一高電壓，提供符合該靜電壓表的校正規(guī)范。此校正總成具有第一滑軌部，裝設(shè)于該底板上，具有至少一第一軌道貫穿該卡持部的本體，使得該卡持部朝向或遠(yuǎn)離該高壓板滑動，進(jìn)行靜電壓測器校正位置的粗調(diào)。此校正總成具有第二滑軌部，設(shè)置于該卡持部的本體，具有至少一第二軌道貫穿于該夾爪部，使該夾爪部與該本體可產(chǎn)生相對運動，進(jìn)行靜電壓測器校正位置的細(xì)調(diào)。此校正總成具有標(biāo)尺部，設(shè)置在該卡持部的一側(cè)，具有一刻度尺、一定位螺栓與一刻度指示器，其中該刻度尺上具有數(shù)字刻痕，而該定位螺栓用以將該卡持部固定在第一滑軌部的適當(dāng)位置，該刻度指示器，用以標(biāo)示該卡持部與該高壓板的距離。此校正總成具有微調(diào)部，設(shè)于該卡持部的本體后端，用以微量調(diào)整該夾爪部與該本體的距離。通過此，使得此種具有高壓板、滑軌部、標(biāo)尺部及微調(diào)部的校正總成較傳統(tǒng)校正方式具有較準(zhǔn)確的特性，且使得靜電壓量測可更為準(zhǔn)確。

因而本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于靜電測試的靜電壓測器校正總成，具有微調(diào)部可較精確校正靜電壓表的靜電壓表校正總成。

本發(fā)明的次要目的在于提供一種用于靜電壓表的校正總成的制作方法，具有微調(diào)部可較精確校正靜電壓表的靜電壓表校正總成。

本發(fā)明的再一目的在于提供一種靜電壓表的校正方法，可較精確校正靜電壓表的靜電壓表校正總成。

據(jù)此，本發(fā)明提供一種用于靜電壓表的校正總成，包含：一底板；一卡持部，用于承載及卡持一靜電壓表，卡持部包含一本體與一夾爪部；一高壓板，設(shè)置在卡持部行進(jìn)方向的前端，具有一輸入端以輸入一高電壓，提供符合靜電壓表的校正規(guī)范；一第一滑軌部，裝設(shè)于底板上，具有至少一第一軌道貫穿卡持部的本體，使得卡持部朝向或遠(yuǎn)離高壓板滑動；一標(biāo)尺部，設(shè)置在卡持部的一側(cè)，具有一刻度尺、一定位螺栓與一刻度指示器，其中刻度尺上具有數(shù)字刻痕，而定位螺栓用以將卡持部固定在第一滑軌部的適當(dāng)位置，刻度指示器，用以標(biāo)示卡持部與高壓板的距離；一第二滑軌部，設(shè)置于卡持部的本體，具有至少一第二軌道貫穿于夾爪部，使夾爪部與本體可產(chǎn)生相對運動；以及一微調(diào)部，設(shè)于卡持部的本體后端，用以微量調(diào)整夾爪部與本體的距離。