[發(fā)明專利]聲波器件及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710194629.4
• 申請日: 2007-11-27
• 公開（公告）號: CN101192815A
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 相川俊一;郡池圣;木村丈兒;津田慶三;北島正幸;井上和則;松田隆志
• 申請（專利權(quán)）人: 富士通媒體部品株式會社;富士通株式會社
• 主分類號: H03H3/08
• 分類號: H03H3/08;H03H9/10;H03H9/12;H03H9/145
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及聲波器件和該聲波器件的制造方法，更具體地講，本發(fā)明涉及一種聲波器件和該聲波器件的制造方法，所述聲波器件具有密封部，該密封部在聲波元件的功能區(qū)域上方具有中空區(qū)域。

背景技術(shù)

聲波器件被廣泛地用作利用電磁波的電學(xué)器件和電子器件的信號濾波器。聲波器件被用作無線通信器件(例如，移動電話)的發(fā)送和接收濾波器或者諸如電視或磁帶錄像機(jī)的視覺用頻率濾波器。在聲波器件中，用由樹脂等制成的密封部來密封諸如聲波元件的芯片。表面聲波元件是聲波器件中的一種類型，并且具有如下結(jié)構(gòu)：在由LiNbO₃、LiTaO₃等制成的壓電基板上設(shè)置有激發(fā)表面聲波的電極，諸如梳狀電極。因為表面聲波在壓電基板的表面上傳播，所以必須在壓電基板和電極上形成空間。因為沒有在壓電基板和電極上提供保護(hù)膜，所以為了增加信賴性必須將聲波元件密封。

第9-232900號日本專利申請公報、第2002-261582號日本專利申請公報和第2003-37471號日本專利申請公報公開了這樣一種技術(shù)，其中，為了降低聲波器件的成本，在具有聲波元件的基板上形成密封部，并且形成晶片級封裝(WLP)。

將給出對在切斷區(qū)域中沒有第一密封部22和第二密封部24的根據(jù)第一傳統(tǒng)實施方式的聲波器件制造方法的描述。圖1A至圖2I示出了根據(jù)第一傳統(tǒng)實施方式的聲波器件制造方法。如圖1A所示，在基板10上形成梳狀電極12、連接到梳狀電極12的配線14、(用于使晶片個體化的)切斷區(qū)域42中的金屬圖案18。在基板10、梳狀電極12和配線14上形成保護(hù)膜20。去除保護(hù)膜20的給定區(qū)域。在穿透區(qū)域44(要形成穿透電極的區(qū)域)中的配線14上形成阻擋層16。如圖1B所示，形成第一密封部22，從而使功能區(qū)域40(聲波振蕩的區(qū)域)、切斷區(qū)域42和穿透區(qū)域44(要形成穿透電極的區(qū)域)分別用作第一非覆蓋部50、第二非覆蓋部52和第三非覆蓋部54(沒有被密封樹脂覆蓋的部分)。

如圖1C所示，將感光樹脂膜粘附到第一密封部22上，從而形成第二密封部24。如圖1D所示，利用掩模32向第二密封部24照射紫外(UV)線。如圖1E所示，在顯影之后，第二密封部24的照射了紫外(UV)線的區(qū)域被留下。從而形成第二非覆蓋部52、第三非覆蓋部54和空洞60。

如圖2F所示，在第三非覆蓋部54中形成穿透電極28。如圖2G所示，在穿透電極28上形成焊球30。如圖2H所示，刀片36沿著切斷區(qū)域42切斷基板10。如圖2I所示，制造了根據(jù)第一傳統(tǒng)實施方式的聲波器件。

接下來，將給出對在切斷區(qū)域42中形成第一密封部22和第二密封部24的根據(jù)第二傳統(tǒng)實施方式的聲波器件制造方法的描述。圖3A至圖4H示出了根據(jù)第二傳統(tǒng)實施方式的聲波器件制造方法。如圖3A所示，形成第一密封部22，使從而功能區(qū)域40和穿透區(qū)域44分別用作第一非覆蓋部50和第三非覆蓋部54。與圖1B中所示的第一傳統(tǒng)實施方式不同，在切斷區(qū)域42中留有第一密封部22。

如圖3B所示，將感光膜粘附到第一密封部22上，從而形成第二密封部24。如圖3C所示，利用掩模32向第二密封部24照射紫外(UV)線。如圖3D所示，在顯影之后，第二密封部24的照射了紫外(UV)線的區(qū)域被留下。從而形成第三非覆蓋部54和空洞60。與圖1E中所示的第一傳統(tǒng)實施方式不同，在切斷區(qū)域42中留有第二密封部24。

如圖4E所示，在第三非覆蓋部54中形成穿透電極28。如圖4F所示，在穿透電極28上形成焊球30。如圖4G所示，刀片36沿著切斷區(qū)域42切斷基板10、第一密封部22和第二密封部24。如圖4H所示，于是制造了根據(jù)第二傳統(tǒng)實施方式的聲波器件。

根據(jù)第一傳統(tǒng)實施方式和第二傳統(tǒng)實施方式，第一密封部22在功能區(qū)域40上方具有中空區(qū)域，第二密封部24覆蓋該中空區(qū)域。因此，密封了聲波元件。焊球30經(jīng)由穿透電極28連接到聲波元件。聲波元件是利用焊球30安裝的倒裝芯片。因此，聲波元件的電信號被輸出到外部。