[發明專利]化學放大型抗蝕劑組合物

無效

• 申請號: 200710193315.2
• 申請日: 2007-12-03
• 公開（公告）號: CN101196687A
• 公開（公告）日: 2008-06-11
• 發明（設計）人: 山口訓史;山本敏;安藤信雄
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 陳平

1.一種化學放大型抗蝕劑組合物，其包含：

(A)由式(I)表示的鹽：

其中，R²¹表示可以被取代的C1-C30烴基，并且在該烴基中的至少一個-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，Q¹和Q²各自獨立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，

并且A⁺表示選自式(Ia)表示的陽離子、式(Ib)表示的陽離子和式(Ic)表示的陽離子中的至少一種有機陽離子，

在式(Ia)中，P¹、P²和P³各自獨立地表示可以被選自羥基、C3-C12環烴基和C1-C12烷氧基中的至少一個取代的C1-C30烷基；或者可以被選自羥基和C1-C12烷氧基中的至少一個取代的C3-C30環烴基，

在式(Ib)中，P⁴和P⁵各自獨立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，以及

在式(Ic)中，P¹⁰、P¹¹、P¹²、P¹³、P¹⁴、P¹⁵、P¹⁶、P¹⁷、P¹⁸、P¹⁹、P²⁰和P²¹各自獨立地表示氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基，B表示硫或氧原子，并且m表示0或1，

(B)由式(II)表示的鹽：

其中，R²²表示可以被取代的C1-C30烴基，并且在該烴基中的至少一個-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，Q³和Q⁴各自獨立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，并且A’⁺表示由式(IIa)表示的有機陽離子，

在式(IIa)中，P⁶和P⁷各自獨立地表示C1-C12烷基或C3-C12環烷基，或者P⁶和P⁷結合形成C3-C12二價無環烴基，該二價無環烴基與相鄰的S⁺一起形成環，并且所述二價無環烴基中的至少一個-CH₂-可以被-CO-、-O-或-S-取代，

P⁸表示氫原子，P⁹表示可以被取代的C1-C12烷基、C3-C12烷環基或者芳族基，或者P⁸和P⁹結合形成二價無環烴基，該二價無環烴基與相鄰的-CHCO-一起形成2-氧代環烷基，并且所述二價無環烴基中的至少一個-CH₂-可以被-CO-、-O-或-S-取代；以及

(C)樹脂，所述樹脂包含具有酸-不穩定基團的結構單元，并且所述樹脂本身不溶于或難溶于堿性水溶液，但是通過酸的作用變得可溶于堿性水溶液。

2.根據權利要求1所述的抗蝕劑組合物，其中Q¹、Q²、Q³和Q⁴各自獨立地表示氟原子或三氟甲基。

3.根據權利要求1所述的抗蝕劑組合物，其中Q¹、Q²、Q³和Q⁴表示氟原子。