[發(fā)明專利]一種傳送薄基板的滾輪組及使用其進(jìn)行化學(xué)處理的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710188268.2
• 申請(qǐng)日: 2007-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101254859A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 季靜佳;葛雷漢·雅提斯;施正榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司
• 主分類號(hào): B65G49/05
• 分類號(hào): B65G49/05;B65G13/00;B65G39/02;B65G49/02;H05K13/00;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃威;徐金偉

1、一種傳送薄基板的滾輪組，其特征在于，包括分別固定在上下兩個(gè)滾輪軸上的上滾輪和下滾輪，所述上下兩個(gè)滾輪軸在各自的主動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)下使得上滾輪和下滾輪以相同的線速度分別沿順時(shí)針?lè)较蚝湍鏁r(shí)針?lè)较蛳鄬?duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得通過(guò)該上下滾輪之間的薄基板在該滾輪組的作用下向某一方向移動(dòng)。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的滾輪組，其特征在于，所述上滾輪包括固定滾輪(12)和圍繞該固定滾輪(12)外周面固定的多個(gè)彈性片(14)。

3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的滾輪組，其特征在于，所述固定滾輪(12)的截面為圓形或多邊形。

4、根據(jù)權(quán)利要求2所述的滾輪組，其特征在于，所述彈性片(14)的一端或兩端固定在固定滾輪(12)上。

5、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述上滾輪和下滾輪的寬度不同于薄基片的寬度。

6、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述上滾輪和下滾輪由金屬、金屬氧化物，金屬合金、半導(dǎo)體材料或高分子材料制成。

7、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述下滾輪由固定滾輪和圍繞該固定滾輪外周面固定的彈性片構(gòu)成。

8、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的滾輪組，其特征在于，所述下滾輪的表面安裝有O型圈或刻有花紋以增加與薄基片的摩擦力。

9、一種使用權(quán)利要求1所述的傳送薄基板的滾輪組進(jìn)行化學(xué)處理的方法，其特征在于，使用一組或一組以上的滾輪組使得所述薄基板沿著一個(gè)方向不斷移動(dòng)，從而對(duì)所述薄基片使用溶液進(jìn)行連續(xù)濕化學(xué)處理。

10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述上滾輪包括固定滾輪(12)和圍繞該固定滾輪(12)外周面固定的多個(gè)彈性片(14)。

11、根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述固定滾輪(12)的截面為圓形或多邊形。

12、根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的方法，其特征在于，所述彈性片(14)的一端或兩端固定在固定滾輪(12)上。

13、根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述上滾輪和下滾輪的寬度不同于薄基片的寬度。

14、根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述滾輪組和薄基片由金屬、金屬氧化物，金屬合金、半導(dǎo)體材料或高分子材料制成。

15、根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述下滾輪由固定滾輪和圍繞該固定滾輪外周面固定的彈性片構(gòu)成。

16、根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述下滾輪的表面安裝有O型圈或刻有花紋以增加與薄基片的摩擦力。

17、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述溶液為水或化學(xué)溶液。

18、根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述連續(xù)濕化學(xué)處理包括對(duì)薄基板進(jìn)行表面腐蝕、表面沉積、表面清洗、表面圖形定義、水清洗或吹干的步驟。