[發明專利]微機電系統微型馬達和裝備該微型馬達的時計

有效

• 申請號: 200710186924.5
• 申請日: 2007-11-13
• 公開（公告）號: CN101183838A
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發明（設計）人: L·帕拉特;W·諾埃爾;J－P·里貝歐蒂;N·戈雷;Y·彼得曼德;A·贊耐特;F·布朗蒂歐;P－A·梅斯特
• 申請（專利權）人: 伊塔瑞士鐘表制造股份有限公司
• 主分類號: H02N1/00
• 分類號: H02N1/00;G04C3/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 原紹輝;劉華聯

1.產生在由晶體或非晶體材料，特別是基于硅的材料制成的板(30)中的MEMS微型馬達(36)，該板包括形成基片(32)的下部層、和至少一個促動器(38，40)和一個轉子(42)蝕刻到其中的上部層(34)，促動器(38，40)驅動轉子(42)繞圓柱形軸(64)旋轉，其特征在于，軸(64)連接到板(30)，該軸(64)為階梯的，且軸向延伸通過板(30)的孔(74)，且軸(64)通過彈性固定結構(96)在孔(74)中夾緊和定心，該彈性固定結構通過蝕刻在基片(32)中產生，且布置在孔(74)的周邊上。

2.根據權利要求1所述的微型馬達(36)，其特征在于：轉子(42)通過軸(64)的外部軸向壁引導旋轉。

3.根據權利要求1所述的微型馬達(36)，其特征在于：軸(64)的外部軸向壁提供有涂層，其最小化與硅的摩擦。

4.根據權利要求1所述的微型馬達(36)，其特征在于：軸(64)為仿形車削的金屬輪軸。

5.根據權利要求1所述的微型馬達(36)，其特征在于：板(30)為絕緣體上硅的類型。

6.根據權利要求1所述的微型馬達(36)，其特征在于：轉子(42)提供有棘輪齒，且促動器(38，40)通過與棘輪合作的棘爪(48，50)驅動轉子(42)。

7.根據權利要求1所述的微型馬達(36)，其特征在于：微型馬達包括小齒輪(62)，其與轉子(42)共軸線且通過接收在提供在轉子(42)的厚度內的槽(68)內的銷(66)旋轉地連接到轉子(42)，且小齒輪(62)通過軸(64)引導旋轉。

8.根據權利要求1所述的微型馬達(36)，其特征在于：除了彈性固定結構(96)，補充固定裝置提供為將軸(64)固定在板(30)內，特別是粘合劑或者焊接部。

9.時計(10)，其包括由根據權利要求1所述的微型馬達(36)驅動旋轉的齒輪系(22)。