[發明專利]多束激光接合機及接合方法

無效

• 申請號: 200710186886.3
• 申請日: 2007-11-21
• 公開（公告）號: CN101439431A
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 魏立鼎;師靜姝
• 申請（專利權）人: 新科實業有限公司
• 主分類號: B23K1/005
• 分類號: B23K1/005;B23K26/067;B23K26/20;C09J5/06
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司
• 代理人: 郝傳鑫

1.一種多束激光接合機，用于將部件間相互間隔一定距離的復數連接介質與對應的部件接合在一起，所述多束激光接合機包括：

發射單束激光的激光束發射單元；及

位于所述單束激光照射路徑上的光學器件，所述光學器件將所述單束激光分為復數激光束并將所述復數激光束聚焦在對應的連接介質上。

2.如權利要求1所述的多束激光接合機，其特征是：所述光學器件包括衍射光學元件和一組透鏡，所述衍射光學元件位于所述激光束發射單元和所述透鏡之間。

3.如權利要求2所述的多束激光接合機，其特征是：所述衍射光學元件為具有臺階狀表面的衍射光柵。

4.如權利要求2所述的多束激光接合機，其特征是：所述衍射光學元件為具有復數個不同深度的平行槽的衍射光柵。

5.如權利要求1所述的多束激光接合機，其特征是：所述光學器件從激光束發射單元一側依次包括柱狀透鏡、一組透鏡和小孔板。

6.一種用于將部件連接至基板的多束激光接合方法，包括：

(1)在所述部件和所述基板之間布置復數個錫球，且布置方式為使所述錫球之間相互間隔一定距離；

(2)提供用于發射單束激光的激光束發射單元；

(3)提供光學器件并將所述光學器件置于所述單束激光的照射路徑上，所述光學器件將所述單束激光分為復數激光束且將所述復數激光束聚焦在對應的錫球上；及

(4)所述復數激光束同時照射錫球，使錫球同時熔化，從而使所述部件連接至基板上。

7.如權利要求6所述的多束激光接合方法，其特征是：所述步驟(4)包括先用低能量激光束照射所述錫球，使所述錫球表層熔化從而將所述錫球固定在基板上，然后用高能量激光束照射所述錫球將所述錫球完全熔化。

8.如權利要求6所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光學器件包括衍射光學元件和一組透鏡，所述衍射光學元件位于所述激光束發射單元和所述透鏡之間。

9.如權利要求8所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光學元件為具有臺階狀表面的衍射光柵。

10.如權利要求8所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光學元件為具有復數個不同深度的平行槽的衍射光柵。

11.如權利要求6所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光學器件從激光束發射單元一側依次包括柱狀透鏡、一組透鏡和小孔板。

12.一種用于固化粘附于多組部件和基板之間的環氧膠的多束激光接合方法，包括：

(1)將環氧膠粘附于所述部件和所述部件相應的基板之間；

(2)將所述多組部件和基板相互分離一定距離；

(3)提供用于發射單束激光的激光束發射單元；

(4)提供光學器件并將所述光學器件置于所述單束激光的照射路徑上，所述光學器件將所述單束激光分為復數激光束且將所述復數激光束聚焦在對應的部件和基板組上；及

(5)用所述復數激光束同時照射對應的部件和基板組，使粘附于所述部件和基板組之間的環氧膠固化，從而使所述多組部件和基板同時粘接在一起。

13.如權利要求12所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光學器件包括衍射光學元件和一組透鏡，所述衍射光學元件位于所述激光束發射單元和所述透鏡之間。

14.如權利要求13所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光學元件為具有臺階狀表面的衍射光柵。

15.如權利要求13所述的多束激光接合方法，其特征是：所述衍射光學元件為具有復數個不同深度的平行槽的衍射光柵。

16.如權利要求12所述的多束激光接合方法，其特征是：所述光學器件從激光束發射單元一側依次包括柱狀透鏡、一組透鏡和小孔板。