[發明專利]有機金屬化合物無效
| 申請號: | 200710181801.2 | 申請日: | 2001-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN101139365A | 公開(公告)日: | 2008-03-12 |
| 發明(設計)人: | H·蔡 | 申請(專利權)人: | 伊利諾伊大學評議會 |
| 主分類號: | C07F15/06 | 分類號: | C07F15/06;H01L21/70;C23C16/18 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 周慧敏;李炳愛 |
| 地址: | 美國伊*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 金屬 化合物 | ||
1.式(R1)mM(PR23)x的有機金屬化合物,其中M是選自錳,锝,錸,鐵,釕,鋨,鎳,鈀,和鉑的金屬;各R1獨立地選自氫,氘,H2,D2以及式-CR32-CR32-R4基團,各R2獨立地選自芳烷基,芳氧基,芳烷氧基,烷基甲硅烷基,芳基甲硅烷基,芳烷基甲硅烷基,烷氧基甲硅烷基,芳氧基甲硅烷基,芳烷氧基甲硅烷基,烷基甲硅烷氧基,芳基甲硅烷氧基,芳烷基甲硅烷氧基,烷氧基,烷氧基甲硅烷氧基,芳氧基甲硅烷氧基,芳烷氧基甲硅烷氧基,烷基甲硅烷基烷基,芳基甲硅烷基烷基,芳烷基甲硅烷基烷基,烷氧基甲硅烷基烷基,芳氧基甲硅烷基烷基,芳烷氧基甲硅烷基烷基,烷基甲硅烷氧基烷基,芳基甲硅烷氧基烷基,芳烷基甲硅烷氧基烷基,烷氧基甲硅烷氧基烷基,芳氧基甲硅烷氧基烷基,芳烷氧基甲硅烷氧基烷基,烷基甲硅烷基烷氧基,芳基甲硅烷基烷氧基,芳烷基甲硅烷基烷氧基,烷氧基甲硅烷基烷氧基,芳氧基甲硅烷基烷氧基,芳烷氧基甲硅烷基烷氧基,烷基甲硅烷氧基烷氧基,芳基甲硅烷氧基烷氧基,芳烷基甲硅烷氧基烷氧基,烷氧基甲硅烷氧基烷氧基,芳氧基甲硅烷氧基烷氧基,以及芳烷氧基甲硅烷氧基烷氧基;各R3獨立地選自氫,氘,C1-C6烷基,C1-C6環烷基,苯基,芐基,(C1-C2烷基或烷氧基)3-甲硅烷基,以及(C1-C2烷基或烷氧基)3-甲硅烷氧基以及其中至少兩個R3選自氫和氘;R4為氫或氘;以及其中(a)當M是錳,锝或錸時,m是1;x是5以及m+x是6;以及其中所述的R2基團不完全一樣;以及(b)當M是鐵,釕或鋨時,m是0,1,2,3或4;x是2,3,4或5以及m+x是4,5,6或7;以及其中所述的R2不完全一樣;以及(c)當M是鎳,鈀或鉑時,m是0或2,x是2,3或4以及m+x是2,3,4,5或6;以及其中所述的R2不完全一樣。
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