[發(fā)明專利]液滴噴頭的控制方法、繪圖方法和液滴噴出裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710181710.9
• 申請日: 2007-10-24
• 公開（公告）號: CN101168323A
• 公開（公告）日: 2008-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 神山信明
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;B41J2/17
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李貴亮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液滴噴頭的控制方法、繪圖方法和液滴噴出裝置。

背景技術(shù)

以往，對工件噴出液滴的裝置周知液滴噴射式的液滴噴出裝置。液滴噴出裝置具有載置基板等工件并使工件向一方向移動(dòng)的工作臺(tái)和在工作臺(tái)的上方位置沿與工作臺(tái)的移動(dòng)方向垂直的方向上配置的引導(dǎo)軌移動(dòng)的滑架。滑架配置液滴噴射頭(以下稱為液滴噴頭)，對工件噴出涂敷液滴。

對工件以液滴噴出涂敷的功能液采用各種材料。功能液多為根據(jù)溫度而粘度變化的物體，通過粘度變化使流體抵抗變化。通過流體抵抗的變化，使在液滴噴頭內(nèi)的流路內(nèi)流動(dòng)的功能液的流速變化。通過功能液的流速的變化，使每一個(gè)點(diǎn)的噴出量變動(dòng)，涂敷所需量的功能液曾是困難的。

為了解決該問題，專利文獻(xiàn)1中公開了控制每一個(gè)點(diǎn)的噴出量的方法。根據(jù)該方法，其對驅(qū)動(dòng)加壓液滴噴頭的腔室的壓電元件的驅(qū)動(dòng)波形、驅(qū)動(dòng)電壓和噴出的液體的溫度進(jìn)行控制。另外，為了控制液體的溫度，在設(shè)置液滴噴頭、供給管、罐上設(shè)置加熱器。

專利文獻(xiàn)：(日本)特開2003-26679號公報(bào)(JP2003-26679)

當(dāng)加壓液滴噴頭的腔室時(shí)，對壓電元件的動(dòng)作施加的能量的一部分變?yōu)闊幔蔀槭挂旱螄婎^的溫度上升的原因。另外，壓電元件未驅(qū)動(dòng)時(shí)，壓電元件不發(fā)熱，液滴噴頭放熱，這成為溫度變動(dòng)的原因。液滴在液滴噴頭、供給管、罐上使用加熱器加熱的方法對于暖化裝置、在短時(shí)間內(nèi)使液體溫度變?yōu)橐?guī)定溫度是有效的。但是，液滴噴頭的動(dòng)作下的溫度變動(dòng)，會(huì)使得在用加熱器加熱而形成恒定溫度的方法中不能夠追隨液體溫度變動(dòng)而控制的情況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問題而研發(fā)的，其目的在于提供能夠精度良好地控制噴出量的液滴噴出裝置的控制方法、繪圖方法合液滴噴出裝置。

為了解決上述問題，本發(fā)明的液滴噴出裝置，對液滴噴頭的腔室加壓，從與該腔室連通的噴咀向工件噴出功能液，其特征在于，具有使液滴噴頭和工件相對移動(dòng)的工作臺(tái)，液滴噴頭具有對腔室加壓的加壓部，在不從噴咀噴出功能液時(shí)，加壓部以不從噴咀噴出功能液的程度多次連續(xù)對腔室加壓，使功能液壓力變動(dòng)，加壓部改變對腔室加壓的壓力的頻率而進(jìn)行加壓。

根據(jù)該液滴噴出裝置，液滴噴出裝置具有包括腔室和與該腔室連通的噴咀的液滴噴頭。另外，液滴噴出裝置具有對腔室加壓的加壓部，對腔室加壓從噴咀噴出功能液。并且，液滴噴頭具有工作臺(tái)，通過使液滴噴頭和工件相對移動(dòng)，使功能液噴出涂敷在工件的所需部位。另外，加壓部以不從噴咀噴出功能液的程度多次連續(xù)對腔室加壓使功能液壓力變動(dòng)。

功能液由于溫度變化會(huì)使粘度變化，所以在液滴噴頭內(nèi)對功能液施加壓力，在噴咀等的流路內(nèi)通過時(shí)，流體抵抗變化，從噴咀噴出的功能液的噴出量變化。因此，溫度變化少的狀態(tài)下噴出的情況與溫度變化大的情況相比，能夠精度良好地控制噴出量而進(jìn)行噴出。

使加壓部不動(dòng)作的情況下，液滴噴頭放熱而溫度下降。另一方面，以不噴出功能液的程度使加壓部動(dòng)作的情況下，由加壓部加壓時(shí)的能量的一部分變?yōu)闊幔旱螄婎^發(fā)熱。并且，發(fā)熱的液滴噴頭的溫度難以下降。

在不從噴咀噴出功能液時(shí)，加壓部以不從噴咀噴出功能液的程度多次連續(xù)對腔室加壓，使功能液壓力變動(dòng)，加壓部改變對腔室加壓的壓力的壓力變動(dòng)的頻率而進(jìn)行加壓。

加壓部對腔室加壓時(shí)，通過改變壓力變動(dòng)的頻率，從而能夠改變加壓部施加給噴頭的能量。加壓部施加給噴頭的能量呈多階段變化時(shí)，通過提供近于與噴頭放熱的熱量相當(dāng)?shù)哪芰浚瑥亩軌蛉菀状_保噴頭的溫度恒定。

另一方面，在不從噴咀噴出功能液時(shí)，加壓部施加給噴頭的能量只有一種的情況下，能將預(yù)定量的能量提供給液滴噴頭。這時(shí)，液滴噴頭放出的能量根據(jù)液滴噴頭的周圍流動(dòng)的流體的溫度和流速而不同，所以液滴噴頭放出的能量和供給液滴噴頭的能量會(huì)不同。結(jié)果，液滴噴頭的溫度根據(jù)液滴噴頭的周圍流動(dòng)的流體的狀態(tài)變動(dòng)。

因此，根據(jù)液滴噴頭的溫度改變加壓部施加給噴頭的能量的情況，與加壓部施加給噴頭的能量只有一種的情況下，容易確保液滴噴頭的溫度恒定。結(jié)果，能夠精度良好地控制噴出量進(jìn)行噴出。

本發(fā)明的液滴噴出裝置具有送風(fēng)部，該送風(fēng)部生成使液滴噴出裝置產(chǎn)生的熱移動(dòng)并排出的氣流，在不從噴咀噴出功能液時(shí)對腔室的加壓，在液滴噴頭位于風(fēng)速快的部位時(shí)加壓部對腔室加壓的壓力的頻率，比在液滴噴頭位于風(fēng)速慢的部位時(shí)加壓部對腔室加壓的壓力的頻率高。

在此，風(fēng)速表示存在于液滴噴出裝置的氣體流動(dòng)時(shí)的流體的流速。