[發明專利]薄板狀材料輸送裝置及方法

無效

• 申請號: 200710180933.3
• 申請日: 2007-10-09
• 公開（公告）號: CN101284602A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 名倉成之;松下力;弓場說治;千葉茂美
• 申請（專利權）人: 株式會社日本設計工業
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G13/00;B65G51/03
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 胡建新

技術領域

本發明涉及一種薄板狀材料輸送裝置，用于非接觸地輸送在液晶顯示器(LCD)面板、等離子顯示器(PDP)等平板顯示器(FPD)中使用的大型且薄的玻璃基板那樣的薄板狀材料。

背景技術

由于液晶顯示器、等離子顯示器等平板顯示器的玻璃基板即使有很小的瑕疵或灰塵也會對品質產生很大影響，因此，在這種玻璃基板的輸送中，要求將玻璃基板保持為接近平面的形狀并沿預定的輸送面(通行線(pass?line))平順地輸送，以便在玻璃基板的表面上不產生瑕疵或者附著異物。

另一方面，液晶顯示器用的玻璃基板尺寸越來越大型化，例如在第8代中大小為W2200mm×L2500mm，在第9代中為W2400mm×L2800mm，與此相比厚度為0.5～0.7mm左右、非常薄。因此，在水平地輸送玻璃基板時，不僅要支持其外周端部、也要支持其內側的部分，否則中央部會較大地下垂。

因此，對玻璃基板的輸送裝置進行研究，以便盡可能在整個面上均等地支持玻璃基板，并保持接近平面的形狀地進行輸送。作為這種輸送裝置的一個，已知一種輸送裝置，使用在上面部形成有多個供氣孔的氣動臺使玻璃基板浮起并通過空氣的壓力進行驅動，并且非接觸地進行輸送(例如參照日本特開平10-139160號公報、日本特開平11-268830號公報、日本特開平11-268831號公報)。

并且，已知一種輸送裝置，在玻璃基板的寬度方向的中央附近設置氣動臺來抑制玻璃基板的中央部的下垂，并通過多個輥支持與玻璃基板的輸送方向垂直的寬度方向的兩端附近，并將玻璃基板向規定的輸送方向驅動(例如參照日本特開2003-63643號公報、日本特開2005-29359號公報)。

另外，從工廠的清潔空氣的設備或具備鼓風機的供氣設備通過配管向氣動臺供給加壓的空氣。

如此，通過使用非接觸地支持玻璃基板的氣動臺，能夠實現難以產生噪音、灰塵和玻璃基板的表面缺損等問題、且部件數量少的輸送裝置。

本申請人例如通過日本特愿2006-276392號提出了一種薄板狀材料輸送裝置，盡管是非公知的，但提出的薄板狀材料輸送裝置為，沿著玻璃基板的通行線在其長度方向和寬度方向上設置多個氣動臺，通過從這些氣動臺的上面供給的空氣使玻璃基板浮起，并且相對于在通行線的寬度方向兩側設置的輸送輥，通過吸入氣流的吸引部來從下方吸引玻璃基板的寬度方向兩端，由此，使玻璃基板的寬度方向兩端與輸送輥接觸并進行輸送。

如上所述，本申請人提出的薄板狀材料輸送裝置在玻璃基板尺寸為第5～第7代的、不是大型的情況下沒有問題，但在第8代或第9代的超大型尺寸的玻璃基板的輸送時，存在玻璃基板的通行線的中央部較大地向上方浮起、或下垂的彎曲變得顯著的問題。

另一方面，為了提高FDP的生產性，要求進一步提高玻璃基板的輸送速度，最近為分速50m。在這樣的高速輸送下，當玻璃基板保持彎曲進行移動時，受到升力和下降力，產生所謂的漂浮現象(Kite?FlyingEffect)，如上所述，在玻璃基板為0.5mm的較薄的情況下，產生成為非常容易破損的狀態的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種薄板狀材料輸送裝置及方法，即使在高速輸送超大型尺寸的玻璃基板的情況下也能夠抑制通行線寬度方向中央部較大地彎曲。

本發明人等發現，通過對來自配置在寬度方向的多個氣動臺單元中的至少寬度方向中央位置的氣動臺單元的空氣供給量進行調節，能夠抑制如上所述的玻璃基板的較大的彎曲。

即，通過以下的各實施例能夠解決上述問題。

(1)一種薄板狀材料輸送裝置，其特征在于，將多個氣動臺單元沿著薄板狀材料的通行線方向以及與通行線正交的寬度方向并排設置，上述氣動臺單元具有：氣動臺，用于對上述薄板狀材料的下面供給氣體并非接觸地支持該薄板狀材料；和用于向該氣動臺供給上述正壓的氣體的正壓產生裝置，上述多個氣動臺單元中、至少通行線寬度方向中央位置的氣動臺單元，具有對來自上述正壓產生裝置的氣體的供給量進行調節的供給量控制裝置。

(2)根據(1)所述的薄板狀材料輸送裝置，其特征在于，設有高度傳感器，對具備上述供給量控制裝置的氣動臺單元中的至少一部分的上方位置的、輸送中的上述薄板狀材料距離上述通行線的高度方向的偏移量進行檢測，上述供給量控制裝置根據上述高度傳感器的檢測信號調節氣體的供給量，以便降低上述高度方向的偏移量。

(3)根據(2)所述的薄板狀材料輸送裝置，其特征在于，將上述高度傳感器安裝到上述氣動臺單元的通行線寬度方向的側面。