[發(fā)明專利]一種用于雙光子微細(xì)加工的三維超分辨衍射光學(xué)器件及其設(shè)計(jì)方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710178811.0
• 申請日: 2007-12-05
• 公開（公告）號: CN101221258A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋曉全;李艷秋
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院電工研究所
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G02B27/00;G11B7/135
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 關(guān)玲;成金玉

1.一種用于雙光子微細(xì)加工的三維超分辨衍射光學(xué)器件，包括外部支架和透明材料構(gòu)成的圓形主體，其特征在于：主體表面有多個(gè)同心圓環(huán)區(qū)域，各個(gè)同心圓環(huán)區(qū)域厚度不同；各圓環(huán)區(qū)域的厚度的規(guī)律如下：相鄰環(huán)帶的厚度差為二分之一入射光波波長λ，相鄰環(huán)帶區(qū)域的厚度差使得雙光子聚合加工所用的飛秒激光分別透過后產(chǎn)生大小為π的相位差；相隔一個(gè)環(huán)帶的兩個(gè)區(qū)域的厚度相同，主體部分外圍尺寸與雙光子加工系統(tǒng)中的顯微物鏡入口光闌一致。

2.如權(quán)利要求1所述的用于雙光子微細(xì)加工的三維超分辨衍射光學(xué)器件，其特征在于：主體部分由同一透光材料構(gòu)成，整個(gè)主體區(qū)域?qū)θ肷涔獾耐高^率相同。

3.如權(quán)利要求1所述的用于雙光子微細(xì)加工的三維超分辨衍射光學(xué)器件，其特征在于：該衍射光學(xué)器件(202)放置在雙光子加工系統(tǒng)中的顯微物鏡(106)之前，安裝位置與系統(tǒng)光軸垂直同心，衍射光學(xué)器件(202)主體部分外圍尺寸與顯微物鏡(106)入口光闌尺寸一致。

4.如權(quán)利要求1所述的用于雙光子微細(xì)加工的三維超分辨衍射光學(xué)器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于包括以下具體步驟：

(1)確定所采用的飛秒激光波長，基底材料折射率，物鏡數(shù)值孔徑、入口光闌尺寸，衍射光學(xué)器件環(huán)帶數(shù)目，最大旁瓣/主瓣強(qiáng)度比，最小主瓣強(qiáng)度衰減比等參數(shù)；

(2)根據(jù)所確定的參數(shù)及器件環(huán)帶數(shù)目n，通過對25！/(26-n)！種情形進(jìn)行遍歷得到初始可行解，運(yùn)行全局優(yōu)化計(jì)算程序進(jìn)行下一步優(yōu)化；

(3)輸出衍射光學(xué)器件結(jié)構(gòu)參數(shù)