[發明專利]一套基于電池的半導體交流微分電導掃描測量系統

無效

• 申請號: 200710178326.3
• 申請日: 2007-11-28
• 公開（公告）號: CN101446620A
• 公開（公告）日: 2009-06-03
• 發明（設計）人: 肖文波;鄭厚植;劉劍;姬揚;孫寶權;李桂榮;譚平恒;朱匯;揚威;張飛;談笑天;孫曉明
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

1.一套基于電池的半導體交流微分電導掃描測量系統，其特征在于，所述系統包括：

一積分運算電路(1)，為樣品提供線形直流偏壓；

一鎖相放大器(3)，為樣品提供交流偏壓，且采集樣品在直流偏壓下的交流信號變化；

一交流和直流運算相加電路(2)，把直流偏壓(1)和鎖相放大器(3)的交流信號電源疊加后施加于樣品上；

一信號衰減器(4)，減小鎖相放大器輸出交流偏壓的幅度；

一數字電壓表(5)，讀出積分運算電路施加于樣品的直流偏壓大小。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，用電池通過積分運算電路(1)，得到線性增加的直流偏壓；利用交流和直流運算相加電路(2)把前面直流偏壓和鎖相放大器(3)輸出的交流電壓同時加于樣品，通過鎖相放大器(3)與數字電壓表(5)讀出樣品處于不同直流偏壓下的交流信號變化，即得出微分電導；此測量信號比直流微分電導增大一倍，信噪比提高2-3個數量級。

3.根據權利要求1或2所述的系統，其特征在于，利用積分運算電路(1)施加的偏壓，調節直流掃描的步長、速度和范圍，避免了數字電壓源在轉換量程時候的跳點。

4.根據權利要求1或2所述的系統，其特征在于，利用交流和直流運算相加電路(2)，避免交直流的疊加時候產生的相互影響，從而提高信噪比。

5.根據權利要求1或2所述的系統，其特征在于，利用信號衰減器(4)鎖相放大器(3)上的交流信號電源輸出端接入交流和直流相加電路(2)，信號衰減器(4)把交流信號施加在樣品上，減小測試步長，提高測量精度。

6.根據權利要求1或2所述的系統，其特征在于，用鎖相放大器(3)上的，交流信號電源，而不是另外利用交流源；保證鎖相讀取時的同步，不會失鎖。

7.根據權利要求1或2所述的系統，其特征在于，調整鎖相放大器(3)參考頻率的工作模式到兩倍頻率方式，從而測量出樣品在不同直流偏壓下的電導的導數。