[發(fā)明專利]在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710176932.1
• 申請日: 2007-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN101428753A
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊楷;陳大鵬;景玉鵬;焦斌斌;李志剛
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): B81C5/00
• 分類號(hào): B81C5/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周國城

1、一種在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，該方法包括：

將封蠟溶于有機(jī)溶劑中，制備封蠟的飽和溶液；

對待腐蝕MEMS器件正面需要保護(hù)的區(qū)域進(jìn)行滴液，將制備的封蠟飽和溶液滴到待腐蝕MEMS器件正面需要保護(hù)的區(qū)域；

對所述經(jīng)過滴液處理的待腐蝕MEMS器件進(jìn)行烘干；

將烘干后的待腐蝕MEMS器件放入堿性腐蝕液中進(jìn)行腐蝕；

腐蝕結(jié)束后，去除MEMS器件上的封蠟。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述溶解封蠟的有機(jī)溶劑為1，1，1-三氯乙烷或甜橙油萜orange?terpene。

3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述制備封蠟飽和溶液的步驟包括：

將一塊Apiezon?W封蠟溶于一定體積的1，1，1-三氯乙烷或甜橙油萜中，用玻璃棒攪拌，直至仍有少量封蠟未溶解，制備出封蠟的1，1，1-三氯乙烷或甜橙油萜飽和溶液。

4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述Apiezon?W封蠟的重量為2g，1，1，1-三氯乙烷或甜橙油萜的體積為20ml。

5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述進(jìn)行滴液的步驟包括：

將待腐蝕的MEMS器件置于50℃～70℃的熱板上，正面朝上，將配好的20ml?Apiezon?W的1，1，1-三氯乙烷飽和溶液用滴管分多次滴到待腐蝕MEMS器件需要保護(hù)的區(qū)域。

6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述分多次將飽和溶液滴到待腐蝕MEMS器件需要保護(hù)的區(qū)域時(shí)，每次滴液不能過多，以防溶液流出硅片，兩次滴液間隔為30秒。

7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述進(jìn)行烘干的步驟包括：

將待腐蝕MEMS器件置于90～120℃的熱板上，正面朝上，烘烤30～60分鐘，使得1，1，1-三氯乙烷充分揮發(fā)。

8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述進(jìn)行腐蝕的步驟包括：

將Apiezon?W保護(hù)后的待腐蝕MEMS器件放入濃度為33％～35％的KOH溶液中進(jìn)行腐蝕。

9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述KOH溶液的溫度不超過75℃，以防Apiezon?W軟化。

10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的在堿性腐蝕液中保護(hù)易腐蝕MEMS器件的方法，其特征在于，所述去除封蠟的步驟包括：

腐蝕結(jié)束后，將MEMS器件浸泡于1，1，1-三氯乙烷中，將MEMS器件正面的封蠟溶解干凈；

將MEMS器件撈出，用乙醇涮洗一遍，再用去離子水沖洗干凈，吹干。