[發(fā)明專利]一種基于狹縫波導(dǎo)的光學(xué)傳感器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710176770.1
• 申請(qǐng)日: 2007-11-02
• 公開（公告）號(hào): CN101206127A
• 公開（公告）日: 2008-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭錚;劉建勝;穆達(dá)瑟;趙欣;徐曉萍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類號(hào): G01D5/26
• 分類號(hào): G01D5/26;G01D5/34;G02B6/24;G02B1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一個(gè)包括輸入光波導(dǎo)和一個(gè)可動(dòng)雙狹縫波導(dǎo)的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)，輸入光波導(dǎo)的作用是將光耦合進(jìn)雙狹縫波導(dǎo)。雙狹縫結(jié)構(gòu)的作用是將光場限制在兩個(gè)同向傳輸?shù)牡驼凵渎湿M縫中，兩狹縫中的光場分布可以受到狹縫波導(dǎo)結(jié)構(gòu)尺寸變化的影響。狹縫波導(dǎo)結(jié)構(gòu)是由三個(gè)平板和兩個(gè)狹縫相間形成的。

2.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)中，平板和狹縫的寬度遠(yuǎn)小于光波長，在幾十至幾百納米之間。

3.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)中，兩側(cè)平板間的間距固定不變，而中間平板在輸入端一側(cè)的位置固定，而在輸出端一側(cè)與兩側(cè)平板的間距可變。

4.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)中，平板材料為高折射率材料，狹縫材料為低折射率材料，被覆層材料為低折射率材料(其材料可以與狹縫材料相同或不同)。平板和狹縫的材料折射率的比例應(yīng)不小于1.6。

5.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)中，平板的材料為不可壓縮的固體材料，狹縫的材料為可壓縮或可流動(dòng)的流體材料。

6.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)中，平板材料可以采用硅、高折射率玻璃、光學(xué)晶體等實(shí)現(xiàn)。狹縫材料可以采用氣體、液體等實(shí)現(xiàn)。

7.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)中，平板在導(dǎo)光區(qū)域范圍內(nèi)的橫截面形狀可以矩形、梯形或其他相似形狀。

8.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)中，通過測量上述傳感器結(jié)構(gòu)中輸出端光強(qiáng)度的變化得到中間平板的位移信息。

9.基于上述權(quán)利要求1中所述的光學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)的光學(xué)位移、溫度、加速度和壓力等傳感器件。