[發明專利]一種控制工藝終點的方法及裝置

無效

• 申請號: 200710175747.0
• 申請日: 2007-10-11
• 公開（公告）號: CN101408753A
• 公開（公告）日: 2009-04-15
• 發明（設計）人: 南建輝;宋巧麗
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04;H01L21/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 張天舒;陳 源

1.一種控制工藝終點的方法，所述工藝在反應腔室內進行，所述反應腔室配置有檢測單元，其特征在于，所述方法包括下述步驟：

A.由所述檢測單元檢測與所述反應腔室內的壓力相關的表征參量；

B.根據所述表征參量確定所述工藝是否到達終點。

2.根據權利要求1所述的控制工藝終點的方法，其特征在于，所述步驟B具體包括下述步驟：

1)從所述檢測單元讀取所述表征參量的數值；

2)根據讀取的表征參量的數值得到與所述表征參量變化相關的數據；

3)將與所述表征參量的變化相關的數據同預置的設定值進行比較，若所述數據小于所述設定值，則返回所述步驟1)，以繼續讀取所述表征參量在下一時刻的數據；若所述數據大于等于所述設定值，則確定所述工藝到達終點。

3.根據權利要求1所述的控制工藝終點的方法，其特征在于，所述表征參量包括反應腔室內的壓力、壓力控制閥的位置。

4.根據權利要求3所述的控制工藝終點的方法，其特征在于，所述與表征參量變化相關的數據包括反應腔室內的壓力的變化值和/或反應腔室內的壓力的變化率；相應地，所述設定值包括反應腔室內的壓力變化值的設定值和/或反應腔室內的壓力變化率的設定值。

5.根據權利要求3所述的控制工藝終點的方法，其特征在于，所述與表征參量的變化相關的數據包括壓力控制閥的位置變化值和/或壓力控制閥的位置變化率；相應地，所述設定值包括壓力控制閥位置變化值的設定值和/或壓力控制閥位置變化率的設定值。

6.根據權利要求3所述的控制工藝終點的方法，其特征在于，所述步驟1)具體包括讀取所述表征參量中的至少一個參量的數值。

7.根據權利要求4所述的控制工藝終點的方法，其特征在于，所述反應腔室內的壓力的變化值是通過求解本次讀取的壓力值與前一次讀取的壓力值之差而得到的；相應地，反應腔室內的壓力的變化率是通過求解所述壓力變化值與進行讀取的時間間隔之比而得到的。

8.根據權利要求5所述的控制工藝終點的方法，其特征在于，所述壓力控制閥的位置變化值是通過求解本次讀取的壓力控制閥的位置與前一次讀取的壓力控制閥的位置之差而得到的；相應地，所述壓力控制閥的位置變化率是通過求解所述壓力控制閥的位置變化值與進行讀取的時間間隔之比而得到的。

9.一種控制工藝終點的裝置，所述工藝在反應腔室內進行，其特征在于，所述裝置包括：

檢測單元，用于檢測與所述反應腔室內的壓力相關的表征參量；

控制和處理單元，根據所述表征參量確定所述工藝是否到達終點。

10.根據權利要求9所述的控制工藝終點的裝置，其特征在于，所述控制和處理單元具體包括下述模塊：

讀取模塊，從所述檢測單元讀取所述表征參量的數值；

計算模塊，根據讀取的表征參量的數值計算與所述表征參量變化相關的數據；

判斷模塊，將與所述表征參量的變化相關的數據同預置的設定值進行比較，若所述數據小于所述設定值，則向所述讀取模塊發送指令，以繼續讀取所述表征參量在下一時刻的數據；若所述數據大于等于所述設定值，則確定所述工藝到達終點。

11.根據權利要求9所述的控制工藝終點的裝置，其特征在于，所述表征參量包括反應腔室內的壓力、壓力控制閥的位置。

12.根據權利要求10所述的控制工藝終點的裝置，其特征在于，所述與表征參量變化相關的數據包括反應腔室內的壓力的變化值和/或反應腔室內的壓力的變化率；相應地，所述設定值包括反應腔室內的壓力變化值的設定值和/或反應腔室內的壓力變化率的設定值。

13.根據權利要求10所述的控制工藝終點的裝置，其特征在于，所述與表征參量的變化相關的數據包括壓力控制閥的位置變化值和/或壓力控制閥的位置變化率；相應地，所述設定值包括壓力控制閥位置變化值的設定值和/或壓力控制閥位置變化率的設定值。

14.根據權利要求12所述的控制工藝終點的裝置，其特征在于，所述反應腔室內的壓力的變化值是通過求解本次讀取的壓力值與前一次讀取的壓力值之差而得到的；相應地，反應腔室內的壓力的變化率是通過求解所述壓力變化值與進行讀取的時間間隔之比而得到的。

15.根據權利要求13所述的控制工藝終點的裝置，其特征在于，所述壓力控制閥的位置變化值是通過求解本次讀取的壓力控制閥的位置與前一次讀取的壓力控制閥的位置之差而得到的；相應地，所述壓力控制閥的位置變化率是通過求解所述壓力控制閥的位置變化值與進行讀取的時間間隔之比而得到的。