[發明專利]高能束流多晶硅提純裝置

無效

• 申請號: 200710175384.0
• 申請日: 2007-09-29
• 公開（公告）號: CN101219789A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發明（設計）人: 李合非;宋連紅;逄廣林;徐惠彬
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 北京永創新實專利事務所
• 代理人: 周長琪

1.一種高能束流多晶硅提純裝置，包括有等離子熔煉單元、電子束熔煉單元，其特征在于：還包括有定向凝固單元(1)、真空室(2)、真空電磁感應熔煉單元(5)，真空電磁感應熔煉單元(5)安裝在真空室(2)的凹形面(215)上；電子束熔煉單元的A電子槍(41)安裝在真空室(2)的左斜面(213)上，B電子槍(42)安裝在真空室(2)的右斜面(214)上；等離子熔煉單元的A等離子槍(31)安裝在真空室(2)的左殼體(216)上，B等離子槍(32)安裝在真空室(2)的右殼體(217)上；定向凝固單元(1)的連接座(182)安裝在真空室(2)的隔板(201)上；

所述真空室(2)被隔板(201)分隔成上真空腔(211)和下真空腔(212)；真空室(2)的頂部設有左斜面(213)、凹形面(215)、右斜面(214)，且左斜面(213)與右斜面(214)之間是凹形面(215)；上真空腔(211)內安裝有蒸發盤(202)、集料盤(204)，且蒸發盤(202)放置在集料盤(204)的上方；B接口(203)設在上真空腔(211)的殼體上；

所述真空電磁感應熔煉單元(5)從上至下設有連續填料室(509)、閘板閥(508)、真空容料室(507)、坩堝(501)、流量控制盤(503)；連續填料室(509)的上部設有A接口(510)和C接口(511)，連續填料室(509)的底部與梯形真空容料室(507)的進料口(571)之間設有閘板閥(508)；真空容料室(507)的上部安裝有勻料電機(506)，勻料電機(506)的輸出軸通過聯軸器(505)與勻料水冷軸(504)的一端連接，勻料水冷軸(504)另一端一直沿伸至坩堝(501)內，勻料水冷軸(504)置于真空容料室(507)內；坩堝(501)的底部設有一通孔，通孔上安裝有流量控制盤(503)，坩堝(501)的堝體四周外部纏繞有水冷高頻感應線圈(502)；

所述定向凝固單元(1)包括有支架組件(11)、調節件(12)、驅動組件(15)、凝固組件(18)；

支架組件(11)的支架(101)的上頂板(111)上從左至右開設有B孔(107)、A孔(106)、C孔(108)，支架(101)的下頂板(112)上從左至右開設有D孔(109)、E孔(110)，下頂板(112)與電機安裝板(102)之間連接有齒輪安裝箱(103)，電機安裝板(102)的端面連接有下蓋板(105)；

調節件(12)包括有鋼球、彈簧(126)、軸承(124)、夾緊件(123)、擋板(122)、底座(121)，夾緊件(123)的軸中心設有A軸孔(128)，A軸孔(128)的四周設有多個通孔(127)，通孔(127)內用于放置彈簧(126)，擋板(122)的軸中心設有B軸孔(129)，底座(121)的軸中心設有C軸孔(130)，擋板(122)與底座(121)采用螺紋孔與螺釘連接；

驅動組件(15)包括有A絲杠(151)、B絲杠(152)、A齒輪(153)、B齒輪(154)、C齒輪(155)、D齒輪(156)、E齒輪(157)、A軸承(158)、B軸承(159)、C軸承(160)、D軸承(161)、E軸承(162)、F軸承(163)、G軸承(164)、H軸承(165)、傳動軸(166)；H軸承(165)套接在B絲杠(152)的一端，B絲杠(152)的另一端順次套接有A軸承(158)、E齒輪(157)、D軸承(161)；G軸承(164)套接在A絲杠(151)的一端，A絲杠(151)的另一端順次套接有C軸承(160)、C齒輪(155)、F軸承(163)、B齒輪(154)；B軸承(159)套接在傳動軸(166)的一端，傳動軸(166)的另一端順次套接有D齒輪(156)、E軸承(162)；A齒輪(153)與B齒輪(154)嚙合，D齒輪(156)分別與C齒輪(155)、E齒輪(157)嚙合；B齒輪(154)上設有多個圓形盲孔(166)；A齒輪(153)通過聯軸器(168)與拉坯電機(167)的輸出軸連接，聯軸器(168)安裝在電機安裝板(102)上；

凝固組件(18)的長套管(183)的管座(194)安裝在升降座(181)上，且管座(194)上設有進水口(188)、出水口(189)，長套管(183)另一端順次穿過連接座(182)、連接件(184)后端部套接有水冷坩堝(185)，長套管(183)內安裝有冷卻水管(186)，且冷卻水管(186)的一端與進水口(188)導通；套接在長套管(183)上的連接座(182)的下端蓋(192)與支架(101)的上頂板(111)連接，上端蓋(193)安裝在真空室(2)的隔板(201)上，連接座(182)上的D接口(187)用于滴加密封油，連接座(182)內安裝有多個墊圈；連接件(184)用于實現水冷坩堝(185)與長套管(183)的裝配。