[發(fā)明專利]一種用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710173570.0
• 申請(qǐng)日: 2007-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN101216676A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張祥翔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：包括：

兩個(gè)或兩個(gè)以上帶橢球反射鏡的高壓汞燈光源；

與所述高壓汞燈光源數(shù)目相同的石英棒勻光系統(tǒng)；

二次勻光系統(tǒng)；

聚光鏡模塊；

中繼透鏡模塊；和

掩模板；

所述高壓汞燈光源位于所述橢球反射鏡的一個(gè)焦點(diǎn)上；所述高壓汞燈光源發(fā)出的光進(jìn)入所述石英棒勻光系統(tǒng)；所述石英棒勻光系統(tǒng)射出的光同時(shí)進(jìn)入所述二次勻光系統(tǒng)；所述二次勻光系統(tǒng)出射的光進(jìn)入所述聚光鏡模塊；經(jīng)過聚光鏡模塊后，次級(jí)光源成像在所述中繼透鏡模塊的物方焦面；所述中繼透鏡模塊在掩模板位置形成遠(yuǎn)心照明視場(chǎng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述石英棒勻光系統(tǒng)包括：

入射光導(dǎo)入45°棱鏡；

出射光導(dǎo)出45°棱鏡；和

石英棒；

所述入射光導(dǎo)入45°棱鏡的入射端位于與所述石英棒勻光系統(tǒng)對(duì)應(yīng)的所述高壓汞燈光源的橢球反射鏡的另一個(gè)焦點(diǎn)上；所述入射光導(dǎo)入45°棱鏡的出射端緊貼所述石英棒的一端；所述石英棒的另一端緊貼所述出射光導(dǎo)出45°棱鏡的入射端；所有出射光導(dǎo)出45°棱鏡的出射端相互緊靠，并位于同一平面內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述二次勻光系統(tǒng)可以是兩組微透鏡陣列，其中一個(gè)微透鏡陣列緊貼所述石英棒勻光系統(tǒng)的出射端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述兩組微透鏡陣列的彎曲面相對(duì)放置，相距為所述微透鏡陣列的焦距。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述二次勻光系統(tǒng)可以是鍍膜的補(bǔ)償板，所述補(bǔ)償板緊貼所述石英棒勻光系統(tǒng)的出射端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述聚光鏡模塊包括準(zhǔn)直鏡和場(chǎng)鏡，所述場(chǎng)鏡位于所述準(zhǔn)直鏡焦點(diǎn)附近。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光刻的照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述中繼透鏡模塊為4F雙遠(yuǎn)心結(jié)構(gòu)。