[發明專利]一種全折射式投影光學系統有效
| 申請號： | 200710172802.0 | 申請日： | 2007-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN101231378A | 公開（公告）日： | 2008-07-30 |
| 發明（設計）人： | 儲兆祥;黃玲;李鐵軍 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G02B13/00 | 分類號： | G02B13/00;G02B9/34 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 折射 投影 光學系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種全折射式投影光學系統，其特征在于：從物面到像面依次排列第一鏡片組、第二鏡片組、光闌、第三鏡片組、第四鏡片組；
所述第一與第四鏡片組、第二與第三鏡片組分別相對于所述光闌對稱；
所述第一鏡片組具有正光焦度，其包括從物面到像面依次排列的透鏡一、透鏡二、透鏡三、透鏡四，其中，透鏡一為雙凹透鏡，透鏡二為凹面朝向物面的負彎月透鏡，透鏡三為凹面朝向物面的正彎月透鏡，透鏡四是正透鏡；
所述第二鏡片組具有正光焦度，其包括從物面到像面依次排列的透鏡五、透鏡六、透鏡七、透鏡八。
2.根據權利要求1所述的全折射式投影光學系統，其特征在于：所述第一鏡片組的焦距大于100mm，小于300mm；
3.根據權利要求1所述的全折射式投影光學系統，其特征在于：所述透鏡二的焦距大于-750mm，小于-450mm。
4.根據權利要求1所述的全折射式投影光學系統，其特征在于：所述第二鏡片組的焦距大于500mm，小于3000mm。
5.根據權利要求1所述的全折射式投影光學系統，其特征在于：所述第二鏡片組與所述光闌之間的距離大于18mm。
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