[發(fā)明專利]一種同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710172801.6
• 申請日: 2007-12-21
• 公開（公告）號: CN101211124A
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐兵;呂曉薇
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;G02B17/02
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，包含同軸對準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)和同軸對準(zhǔn)曝光系統(tǒng)，該同軸對準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)包含掩模標(biāo)記照明系統(tǒng)和掩模標(biāo)記成像系統(tǒng)，該同軸對準(zhǔn)曝光系統(tǒng)包含曝光對象標(biāo)記照明系統(tǒng)和曝光對象標(biāo)記成像系統(tǒng)；

其特征在于：

所述的掩模標(biāo)記照明系統(tǒng)包含：從照明光纖出射端開始沿光軸依次放置的照明物鏡組、濾波片、分束直角棱鏡、孔徑光闌和前組成像物鏡組，

其對于依次放置在所述前組成像物鏡組后的掩模板下表面上的掩模標(biāo)記實(shí)現(xiàn)均勻照明；

所述的掩模標(biāo)記成像系統(tǒng)包含：從掩模板下表面開始沿光軸依次放置的前組成像物鏡組、孔徑光闌、分束直角棱鏡、后組成像物鏡組和CCD攝像機(jī)接收面，其對所述掩模板上的掩模標(biāo)記實(shí)現(xiàn)清晰成像；

所述的曝光對象標(biāo)記照明系統(tǒng)是由掩模標(biāo)記照明系統(tǒng)和光學(xué)投影系統(tǒng)組成的，即其包含：從照明光纖出射端開始沿光軸依次放置的照明物鏡組、濾波片、分束直角棱鏡、孔徑光闌、前組成像物鏡組、掩模板和光學(xué)投影系統(tǒng)，其對依次放置在光學(xué)投影系統(tǒng)后的曝光對象上表面上的曝光對象標(biāo)記實(shí)現(xiàn)均勻照明；

所述的曝光對象標(biāo)記成像系統(tǒng)是由掩模標(biāo)記成像系統(tǒng)和光學(xué)投影系統(tǒng)組成的，即其包含：從曝光對象上表面開始沿光軸依次放置的光學(xué)投影系統(tǒng)、掩模板、前組成像物鏡組、孔徑光闌、分束直角棱鏡、后組成像物鏡組和CCD攝像機(jī)接收面，其對所述曝光對象上的曝光對象標(biāo)記實(shí)現(xiàn)清晰成像。

2.如權(quán)利要求1所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的掩模板下表面為掩模標(biāo)記成像系統(tǒng)的物面；所述的CCD攝像機(jī)接收面為掩模標(biāo)記成像系統(tǒng)的像面。

3.如權(quán)利要求1所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的曝光對象上表面為曝光對象標(biāo)記成像系統(tǒng)的物面；所述的CCD攝像機(jī)接收面為曝光對象標(biāo)記成像系統(tǒng)的像面。

4.如權(quán)利要求1所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的掩模標(biāo)記照明系統(tǒng)是臨界照明系統(tǒng)，所述的照明物鏡組是照明雙膠合物鏡組。

5.如權(quán)利要求1所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的掩模標(biāo)記照明系統(tǒng)是柯勒照明系統(tǒng)，所述的照明物鏡組是柯勒照明物鏡組。

6.如權(quán)利要求1所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的曝光對象標(biāo)記照明系統(tǒng)為臨界照明系統(tǒng)，所述的照明物鏡組是照明雙膠合物鏡組。

7.如權(quán)利要求1所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的曝光對象標(biāo)記照明系統(tǒng)為柯勒照明系統(tǒng)，所述的照明物鏡組是柯勒照明物鏡組。

8.如權(quán)利要求4或6所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的照明雙膠合物鏡組由照明雙膠合物鏡組第一透鏡和照明雙膠合物鏡組第二透鏡膠合組成。

9.如權(quán)利要求8所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的照明雙膠合物鏡組第一透鏡是雙凸透鏡，所述的照明雙膠合物鏡組第二透鏡是雙凹透鏡。

10.如權(quán)利要求4所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的掩模標(biāo)記照明系統(tǒng)是臨界照明系統(tǒng)時(shí)，所述的照明光纖出射端與掩模板的下表面為物像共軛面。

11.如權(quán)利要求6所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的曝光對象標(biāo)記照明系統(tǒng)為臨界照明系統(tǒng)時(shí)，所述的照明光纖出射端與曝光對象上表面為物像共軛面。

12.如權(quán)利要求5或7所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的柯勒照明物鏡組由柯勒照明物鏡組第一透鏡，柯勒照明物鏡組第二透鏡，柯勒照明物鏡組第三透鏡，視場光闌和柯勒照明物鏡組第四透鏡組成，且相鄰兩個(gè)透鏡之間彼此分離設(shè)置；其中，所述的柯勒照明物鏡組第一透鏡，柯勒照明物鏡組第二透鏡和柯勒照明物鏡組第三透鏡組成集光鏡組。

13.如權(quán)利要求12所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的柯勒照明物鏡組第一透鏡和柯勒照明物鏡組第四透鏡均為凸凹透鏡，所述的柯勒照明物鏡組第二透鏡是雙凹透鏡，所述的柯勒照明物鏡組第三透鏡是雙凸透鏡。

14.如權(quán)利要求12所述的同軸對準(zhǔn)消色差光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述的掩模標(biāo)記照明系統(tǒng)是柯勒照明系統(tǒng)時(shí)，所述的照明光纖出射端與孔徑光闌為物像共軛面；視場光闌與掩模板下表面上的掩模標(biāo)記面為物像共軛面。