[發(fā)明專利]檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710171605.7
• 申請日: 2007-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN101452911A
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧永平
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/544
• 分類號(hào): H01L23/544
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈 蘅;李時(shí)云

1.一種檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，該測試結(jié)構(gòu)包括多個(gè)模塊，其上分布有鎢塞，鎢塞大小相同，每個(gè)模塊上鎢塞分布的密集度不同；每個(gè)模塊的面積相等，鎢塞之間的間隔依次增大，每個(gè)模塊上的鎢塞個(gè)數(shù)依次減少。

2.如權(quán)利要求1所述的檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，將鎢塞劃分為鎢塞組，通過改變鎢塞組的分布改變每個(gè)模塊鎢塞的分布密集度，每個(gè)模塊上鎢塞組分布的密集度不同。

3.如權(quán)利要求2所述的檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)模塊上包括數(shù)量不同的鎢塞組，同一個(gè)模塊內(nèi)的鎢塞組間隔相同，相鄰的模塊的鎢塞組之間的間隔依次增大。

4.如權(quán)利要求2所述的檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，同一個(gè)模塊中所有鎢塞組的總面積與所有鎢塞組之間間隔的總面積相等。

5.如權(quán)利要求4所述的檢測鎢塞化學(xué)機(jī)械拋光工藝的測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，各個(gè)模塊中所有鎢塞組的總面積均相等。