[發明專利]一種化學機械拋光液

無效

• 申請號: 200710171600.4
• 申請日: 2007-11-30
• 公開（公告）號: CN101451049A
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發明（設計）人: 陳國棟;宋偉紅;姚穎;包建鑫;王淑敏
• 申請（專利權）人: 安集微電子（上海）有限公司
• 主分類號: C09G1/18
• 分類號: C09G1/18;H01L21/304
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務所
• 代理人: 李佳銘

1.一種化學機械拋光液，其含有水，其特征在于還含有：摻雜金屬的二氧化硅和下述速率促進劑中的一種或多種：有機酸、氟化物、氨水以及季銨鹽及其衍生物。

2.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的金屬為鋁、鋯、鈰、金、銀、鐵、鉻或鉬。

3.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的摻雜金屬的二氧化硅的粒徑為20～80nm。

4.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的摻雜金屬的二氧化硅的用量為質量百分比1～20％。

5.如權利要求4所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的摻雜金屬的二氧化硅的用量為質量百分比3～10％。

6.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的有機酸選自草酸、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸、2-羥基膦酰基乙酸、氨基三亞甲基膦酸和酒石酸中的一種或多種；所述的氟化物選自氟化氫、氟化銨、氟硅酸銨和氟硼酸銨中的一種或多種；所述的季銨鹽選自四丁基氫氧化銨、四甲基氫氧化銨和四丁基氟硼酸銨中的一種或多種。

7.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的速率促進劑的用量為質量百分比0.05～1％。

8.如權利要求7所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的速率促進劑的用量為質量百分比0.1～0.6％。

9.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的化學機械拋光液的pH為2～5。

10.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的化學機械拋光液還含有緩蝕劑、氧化劑、絡合劑和表面活性劑中的一種或多種。