[發(fā)明專利]感光性組合物和圖像形成方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710169939.0
• 申請日: 2004-09-22
• 公開（公告）號: CN101165593A
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發(fā)明（設計）人: 水上潤二;龜山泰弘;利光惠理子;瑞穗右二
• 申請（專利權）人: 三菱化學株式會社;日本合成化學工業(yè)株式會社
• 主分類號: G03F7/031
• 分類號: G03F7/031;G03F7/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 丁香蘭;謝栒

1.一種感光性組合物，所述組合物包含下列通式(XI)至(XIII)代表的增感劑中的至少一種類型：

上述通式(XI)～(XIII)中，環(huán)A～G各自彼此獨立地具有作為基本骨架的芳烴環(huán)或芳香雜環(huán)，環(huán)A和B、環(huán)D和E、或者環(huán)F和G選擇性地互相鍵連形成包含N的鍵合環(huán)；上述通式(XII)中，連接基團L代表包含芳烴環(huán)和/或芳香雜環(huán)的連接基團，連接基團L和N通過所述芳烴環(huán)或芳香雜環(huán)鍵連，n代表至少2的整數(shù)；通式(XIII)中，R代表選擇性具有取代基的烷基；環(huán)A～G和連接基團L選擇性具有取代基，該取代基選擇性地互相鍵連成環(huán)。

2.如權利要求1所述的感光性組合物，其特征在于，環(huán)A至G各自彼此獨立地具有作為基本骨架的以下芳烴環(huán)或以下芳香雜環(huán)，所述芳烴環(huán)選自：苯環(huán)、萘環(huán)、蒽環(huán)、菲環(huán)、甘菊環(huán)、芴環(huán)、苊烯環(huán)和茚環(huán)；所述芳香雜環(huán)選自：呋喃環(huán)、噻吩環(huán)、吡咯環(huán)、噁唑環(huán)、異噁唑環(huán)、噻唑環(huán)、異噻唑環(huán)、咪唑環(huán)、吡唑環(huán)、呋咱環(huán)、三唑環(huán)、吡喃環(huán)、噻二唑環(huán)、噁二唑環(huán)、吡啶環(huán)、噠嗪環(huán)、嘧啶環(huán)和吡嗪環(huán)，連接基團L包含一個或多個選自上述芳烴環(huán)和芳香雜環(huán)的環(huán)，當它包含兩個或多于兩個的環(huán)時，所述環(huán)是直接連接的或經由二價或高于二價的連接基團連接。

3.如權利要求1或2所述的感光性組合物，其特征在于，環(huán)A至G和連接基團L選擇性具有的取代基選自：鹵素原子；羥基；硝基；氰基；羧基；和選擇性地具有取代基的以下基團：烷基、環(huán)烷基、鏈烯基、環(huán)烯基、烷氧基、烷硫基、芳基、芳烷基、烯氧基、烯硫基、酰基、酰氧基、氨基、酰氨基、氨基甲酸酯基、氨甲酰基、羧酸酯基、氨磺酰基、磺酸酯基、由-C＝N代表的基團、由-C＝N-N代表的基團和飽和或不飽和雜環(huán)基。

4.如權利要求1～3任一項所述的感光性組合物，其中，所述由通式(XI)至(XIII)代表的增感劑在330～450?nm波長范圍內具有最大吸收。

5.如權利要求1～4任一項所述的感光性組合物，所述組合物包括光聚合性感光性組合物，所述光聚合性感光性組合物含有烯屬不飽和化合物和一種或一種以上的光聚合引發(fā)劑，所述光聚合引發(fā)劑選自由六芳基二咪唑型化合物、鹵代烴衍生物、碘鎓鹽、有機硼酸鹽和二茂鈦型化合物組成的組。

6.如權利要求5所述的感光性組合物，其中，所述光聚合引發(fā)劑是六芳基二咪唑型化合物。

7.如權利要求1～4任一項所述的感光性組合物，所述組合物還包含光酸產生劑。

8.如權利要求7所述的感光性組合物，所述組合物還包含以下組分(N-1)和(N-2)：(N-1)堿溶性樹脂；和(N-2)在酸性條件下作用于所述堿溶性樹脂的交聯(lián)劑。

9.如權利要求7所述的感光性組合物，所述組合物還包含以下組分(P-1)：(P-1)含有酸分解性基團的聚合物。

10.一種圖像形成方法，其特征在于，利用諸如氦氖激光器、氬離子激光器、釔鋁石榴石激光器、HeCd激光器、半導體激光器或紅寶石激光器的曝光光源對權利要求1～9任一項所述的感光性組合物進行掃描曝光，然后將所述組合物顯影。