[發(fā)明專利]噴液元件及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710169801.0 | 申請日： | 2005-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN101143514A | 公開（公告）日： | 2008-03-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 小室博和 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | B41J2/16 | 分類號： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 朱德強 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 元件 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于制造噴液元件的制造方法，該噴液元件包括：液體流動通路，該液體流動通路開口于用于噴射液體的噴射出口處；以及能量產生部件，用于產生能量，該能量可用于使得來自液體流動通路的液體通過噴射出口來噴射，所述制造方法包括：
在基質的正面形成能量產生部件的步驟；
在具有通過所述能量產生部件形成步驟而形成的所述能量產生部件的所述正面上形成頂板部件的步驟，其中，所述頂板部件是在其中形成所述液體流動通路和所述噴射出口的部件；
從基質的背面削薄所述基質的步驟，該基質有通過所述頂板部件形成步驟而在它上面形成的所述頂板部件；
穿過所述基質形成通孔的步驟；以及
用導電材料填充所述通孔的步驟。
2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述頂板部件形成步驟包括：在用于形成所述液體流動通路的位置處形成抗蝕劑層的步驟；在抗蝕劑上施加感光樹脂材料以及通過曝光和顯影而在所述感光樹脂材料中形成噴射出口的步驟；以及通過曝光和顯影而在所述感光樹脂材料中形成噴射出口的步驟。
3.根據權利要求1所述的方法，還包括：在所述削薄步驟之后形成供給口的步驟，該供給口用于將液體穿過所述基質從背面供給到所述液體流動通路。
4.根據權利要求1所述的方法，其中：所述削薄步驟將所述基質的厚度削薄至50μm-300μm。
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