[發(fā)明專利]放電燈

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710169334.1
• 申請日: 2007-11-22
• 公開（公告）號: CN101188184A
• 公開（公告）日: 2008-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 溝尻貴文;松澤聰司;森本幸裕
• 申請（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機(jī)株式會社
• 主分類號: H01J65/00
• 分類號: H01J65/00;H01J61/35;H01J61/30
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 鐘強(qiáng);關(guān)兆輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種放電燈，尤其是涉及放射紫外線的、在放電容器的表面形成有紫外線散射反射膜的放電燈。

背景技術(shù)

近年來，開發(fā)并實(shí)用了通過在由金屬、玻璃、及其他材料構(gòu)成的被處理體上照射波長200nm以下的真空紫外光，從而通過該真空紫外光及由此生成的臭氧的作用來處理被處理體的技術(shù)，例如除去附著于被處理體表面的有機(jī)污染物質(zhì)的清潔處理技術(shù)，或在被處理體的表面形成氧化膜的氧化膜形成處理技術(shù)。

放射紫外線的放電燈為了有效放射更高強(qiáng)度的紫外線進(jìn)行了大量嘗試。圖9是表示專利文獻(xiàn)1的放電燈的說明用剖面圖。記載著如下放電燈1：具有由透過紫外線的石英玻璃構(gòu)成的放電容器2，在該放電容器2的內(nèi)側(cè)與外側(cè)分別構(gòu)成有內(nèi)側(cè)電極3與外側(cè)電極4，在放電容器2的表面具有紫外線散射反射膜8。在放電空間內(nèi)存在的紫外線不會入射到形成有該紫外線散射反射膜8的放電容器2中。此外，為了放射在放電容器內(nèi)產(chǎn)生的紫外線，在放電容器2的一部分形成有未形成紫外線散射反射膜8的光射出窗23。

紫外線散射反射膜8被設(shè)置在放電容器2的內(nèi)部，因此紫外線通過紫外線散射反射膜8反射時，不能透過石英玻璃，僅在紫外線被放射到外部時，透過石英玻璃，從光射出窗23放射，因此可抑制由于透過石英玻璃引起的衰減。此外，通過防止放電空間內(nèi)的紫外線入射到構(gòu)成放電容器2的石英玻璃中，可減小紫外線歪曲引起的損害，防止產(chǎn)生裂紋。

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開2002-93377號公報

紫外線散射反射膜優(yōu)選由紫外線反射率高的粒子、例如由氧化鋁粒子等紫外線反射率高的材料構(gòu)成，可得到高反射效率。然而，若將以氧化鋁粒子作為主體的紫外線散射反射膜形成在二氧化硅純度高的石英玻璃的放電容器表面，則有紫外線散射反射膜容易脆弱地剝離的問題。一般，在放電容器的表面，很難形成由膨脹系數(shù)與放電容器不同的粒子構(gòu)成的紫外線散射反射膜，紫外線散射反射膜容易脆弱地剝離。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明考慮到上述問題點(diǎn)，其目的是在于提供一種放電燈，在由石英玻璃構(gòu)成的放電容器的表面，也形成含有紫外線反射率高的粒子的紫外線散射反射膜，進(jìn)而紫外線散射反射膜不會脆弱地剝離。

本發(fā)明的一種放電燈，在由石英玻璃構(gòu)成的放電容器的表面，設(shè)有由含有二氧化硅粒子的紫外線散射粒子形成的紫外線散射反射膜，在上述放電容器的至少一部分上形成有未設(shè)置上述紫外線散射反射膜而成的光射出窗，照射紫外線，其特征在于：上述紫外線散射反射膜在粘接部分中，主要存在上述二氧化硅粒子。

此外，本申請的第2發(fā)明的放電燈，在由石英玻璃構(gòu)成的放電容器的表面，設(shè)有由含有二氧化硅粒子的紫外線散射粒子形成的紫外線散射反射膜，在上述放電容器的至少一部分上形成有未設(shè)置上述紫外線散射反射膜而成的光射出窗，照射紫外線，其特征在于：上述紫外線散射反射膜在粘接部分僅存在上述二氧化硅粒子。

此外，本申請的第3發(fā)明的放電燈的特征為：在第一發(fā)明中，上述二氧化硅粒子的粒徑比上述二氧化硅粒子以外的上述紫外線散射粒子的粒徑小。

此外，本申請的第4發(fā)明的放電燈的特征為：在第3發(fā)明中，在上述放電容器的表面，形成有寬度比上述二氧化硅粒子的粒徑大、比上述二氧化硅粒子以外的上述紫外線散射粒子的粒徑小的槽。

此外，本申請的第5發(fā)明的放電燈的特征為：在第1發(fā)明中，在上述紫外線散射反射膜的表面，形成有由反射率比二氧化硅粒子高的紫外線散射粒子構(gòu)成的反射膜表面層。

此外，本申請的第6發(fā)明的放電燈的特征為：在第1發(fā)明中，上述紫外線散射反射膜設(shè)置在暴露于放電空間中的放電容器的表面。

此外，本申請的第7發(fā)明的放電燈的特征為：在第1發(fā)明中，上述紫外線散射粒子含有氧化鋁、氟化鎂、氟化鈣、氟化鋰、氧化鎂的中的任意一種以上的物質(zhì)。

根據(jù)本發(fā)明的放電燈，通過在從放電容器的表面開始距離二氧化硅粒子的半徑的長度的范圍內(nèi)形成有僅存在二氧化硅粒子的紫外線散射反射膜，紫外線散射反射膜不會脆弱地剝離。進(jìn)而，可提供一種放電燈，將含有大量紫外線反射率高的紫外線散射粒子的紫外線散射反射膜形成在放電容器的表面，從而提高反射效率，有效地照射紫外線。

附圖說明

圖1是表示放電燈的說明用剖面圖。

圖2是放電容器與紫外線散射反射膜的接合部分的放大圖。

圖3是表示在放電容器2的內(nèi)表面設(shè)有紫外線散射反射膜8的狀態(tài)的透視圖。

圖4是形成有紫外線散射反射膜的放電容器的表面附近的放大投影圖像。

圖5是放電容器與紫外線散射反射膜的接合部分的放大圖。

圖6是放電燈的剖面圖。