[發明專利]液滴噴出頭、檢查裝置和檢查裝置的使用方法

有效

• 申請號: 200710169293.6
• 申請日: 2007-11-08
• 公開（公告）號: CN101178413A
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發明（設計）人: 花岡幸弘;橫山敏彥
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01N35/10
• 分類號: G01N35/10;B41J2/045;B05B15/06;B05B13/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種液滴噴出頭，其特征在于，包括：

噴嘴單元；

驅動單元，

所述噴嘴單元具有能噴出液滴的噴嘴、和與該噴嘴連通的壓力產生用流路，

所述驅動單元具有噴嘴單元安裝部和致動器，

在所述噴嘴單元安裝部上以能裝卸的狀態安裝所述噴嘴單元，

所述致動器為了從安裝在所述噴嘴單元安裝部上的所述噴嘴單元的所述噴嘴噴出液滴，而使該噴嘴單元的所述壓力產生用流路的內容積變化。

2.根據權利要求1所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述噴嘴單元具有能裝卸地安裝在所述驅動單元的所述噴嘴單元安裝部上的安裝部，

該安裝部具有所述壓力產生用流路、和限定了該壓力產生用流路的一部分且能向面外方向振動的流路側振動板，

所述驅動單元具有作為所述噴嘴單元安裝部的安裝孔、配置在該安裝孔內且能向面外方向振動的驅動側振動板、和作為所述致動器的壓電元件，

所述驅動側振動板配置在能與插入所述安裝孔中的所述安裝部的所述流路側振動板接觸的位置，通過所述壓電元件振動。

3.根據權利要求2所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述驅動單元在所述安裝孔內具有配置在與所述驅動側振動板相對的位置的彈性構件，

該彈性構件配置在能在插入所述安裝孔中的所述噴嘴單元的所述安裝部的作用下彈性變形，并通過彈性恢復力將該安裝部向所述驅動側振動板施力的位置。

4.根據權利要求3所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述流路側振動板具有比外周緣部分剛性高的中央部分、和形成在該中央部分上的平坦的接觸面，該接觸面能與所述驅動側振動板接觸，

所述驅動側振動板具有與所述接觸面對峙的對峙面、和形成在該對峙面上的多個突起，這些突起能與所述接觸面接觸。

5.根據權利要求4所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述驅動側振動板的所述對峙面的背面側部分與所述壓電元件的變位面保持接觸狀態。

6.根據權利要求5所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述壓電元件是疊層型的壓電元件。

7.根據權利要求1所述的液滴噴出頭，其特征在于，

所述噴嘴單元具有用于貯存向所述壓力產生用流路供給的液體的貯存部。

8.一種多聯式液滴噴出頭，其特征在于，

具有多組液滴噴出頭，

各液滴噴出頭是權利要求1～7中的任意一項所述的液滴噴出頭，

至少所述液滴噴出頭的所述驅動單元相互連結而形成多聯式驅動單元。

9.一種檢查裝置，其特征在于，

具有噴出試劑或樣品的液滴噴出頭，

該液滴噴出頭具有至少一個噴嘴單元和至少一個驅動單元，

所述噴嘴單元具有能噴出液滴的噴嘴、貯存所述試劑或樣品的貯存部、和從該貯存部對所述噴嘴供給所述試劑或樣品的壓力產生用流路，

所述驅動單元具有噴嘴單元安裝部和致動器，

在所述噴嘴單元安裝部上以能裝卸的狀態安裝所述噴嘴單元，

所述致動器為了從安裝在所述噴嘴單元安裝部上的所述噴嘴單元的所述噴嘴噴出液滴，而使該噴嘴單元的所述壓力產生用流路的內容積變化。

10.根據權利要求9所述的檢查裝置，其特征在于，

具有滑架，所述滑架將所述驅動單元輸送到在所述驅動單元上安裝所述噴嘴單元的噴嘴單元安裝位置、和從安裝在所述驅動單元上的所述噴嘴單元的所述噴嘴噴出試劑或樣品的噴出位置。

11.根據權利要求10所述的檢查裝置，其特征在于，

具有檢查臺，所述檢查臺載置檢查片，在所述噴出位置從所述液滴噴出頭噴出的液滴附著在該檢查片上。

12.根據權利要求11所述的檢查裝置，其特征在于，具有：

收納所述噴嘴單元的盒；

從該盒取出所述噴嘴單元并安裝到所述驅動單元上的噴嘴單元輸送機構。

13.根據權利要求12所述的檢查裝置，其特征在于，

具有多聯式驅動單元，所述多聯式驅動單元具有連結了多個所述驅動單元的結構，

該多聯式驅動單元搭載在所述滑架上。