[發明專利]基板粘合裝置以及基板粘合方法

有效

• 申請號: 200710169221.1
• 申請日: 2004-01-30
• 公開（公告）號: CN101149507A
• 公開（公告）日: 2008-03-26
• 發明（設計）人: 遠藤茂;伊藤彰悅;門脇徹二;宮島良政
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G02F1/13;B32B38/18
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 何騰云

技術領域

本發明涉及一種基板粘合裝置和基板粘合方法，詳細地說，是適合于在將液晶顯示裝置(Liquid?Crystal?Dispray：LCD)等的2張基板制成粘合著的基板(板/パネル)時使用的基板粘合裝置和基板粘合方法。

近年來，LCD等平面顯示板，隨著在大型化、重量輕(薄型化)方面的進展，低成本化的要求進一步提高了。因此，要求粘合2張基板、制造顯示板的裝置能提高成品率、提高生產率。

背景技術

液晶顯示板以極其狹小的間隔(數μm左右)對峙設置將多個TFT(薄膜晶體管)制成基質(マトリクス)狀的陣列基板、和形成有顏色濾光片(紅、綠、蘭)和遮光膜等的顏色濾光片(CF)基板，將液晶密封在這2張玻璃基板之間制成。為了獲得對比度，以及為了遮蓋(遮光)TFT、防止產生光漏(光リ一ク)電流而使用遮光膜。用含有熱硬化樹脂的密封材料(粘接劑)粘合陣列基板和CF基板。

在該液晶顯示板的制造工序中，將液晶密封在對峙的玻璃基板之間的液晶密封工序一般采用滴下注入法，即，將規定量的液晶滴在基板的周圍制成框狀的密封材料的框內的基板面上，在真空中粘合陣列基板和CF基板，以密封液晶。

以往，粘合2張基板(CF基板和陣列基板)，使用加壓裝置(粘合裝置)由基板加壓工序來進行粘合。該粘合裝置具備在處理室內相互對峙、上下配置的、分別保持CF基板和陣列基板的2張保持板，通過精密地保持兩保持板的平面度和上下之間的平行度，同時在使基板之間的厚度方向的間隔始終保持均勻的狀態下，使兩基板接近，由此進行粘合。例如在專利文獻1中分開了與這樣的粘合裝置有關的現有技術。

專利文獻1

日本專利公報特開2002-323694號

但是，上述那樣的現有的粘合裝置存在的問題是，為了減小在使處理室內為真空時由于與外部(大氣壓)的壓差而產生的保持板的變形，受到壓差的影響的部位需要有很高的剛性，因此，裝置的重量增加了，或裝置體積增大了等。

近年來，隨著基板的大型化、薄型化，在加工階段使保持板單體的平面度確保有一定的精度是很困難的，難以高精度地保持兩基板的平行度。因此，在粘合大型和薄型的基板時，特別容易產生粘合時的錯位和基板間隔不均勻現象。

這樣的基板錯位和基板間隔不均勻，是來自遮光部的漏光和顯示不均勻等顯示不良現象的原因，難以制成穩定的產品，是成品率降低的主要原因。

發明內容

本發明是為解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種能高精度且容易進行基板粘合的基板粘合裝置和基板粘合方法。

為了達到上述目的，根據本發明的第一、二、九方面，粘合分別保持在配置于處理室內的相互對峙的第1和第2保持板上的2張基板的基板粘合裝置，具備：檢測作用在上述2張基板上的載荷的多個載荷檢測機構；與上述多個載荷檢測機構對應設置的、使其產生粘合上述2張基板的加工壓力的多個加壓機構，能根據由上述多個載荷檢測機構分別檢測的載荷變化、分別調整由上述多個加壓機構產生的加工壓力。根據該結構，能使第1保持板和第2保持板、即，使第1基板和第2基板的平行度保持均勻，而且能高精度地進行粘合。其結果是，能防止基板錯位和基板間隔不均勻，能減少顯示不良現象。

根據本發明的第二方面，分別將第1基板和第2基板保持在配置于處理室內的相互對峙的第1保持板和第2保持板上、使上述第1保持板靠近上述第2保持板，粘合上述第1基板和上述第2基板的基板粘合裝置，具備根據作用在上述第1保持板上的載荷的分布矯正粘合上述第1和第2基板的加工壓力的多個加壓矯正機構。根據該結構，能使第1保持板和第2保持板、即，使第1基板和第2基板的平行度保持均勻，而且能高精度地進行粘合。其結果是，能防止基板錯位和基板間隔不均勻，能減少顯示不良現象。

根據本發明的第三方面，上述加壓矯正機構具備載荷檢測機構和加壓機構。載荷檢測機構檢測作用在上述第1保持板上的載荷。而且，加壓機構根據由上述載荷檢測機構檢測的載荷變化產生上述加工壓力。

根據本發明的第四方面，具備依據上述各載荷檢測機構的輸出，計算作用在上述第1保持板上的載荷總和，根據該計算的載荷總和的減少部分確定由上述各加壓機構產生的加工壓力的控制部。

根據本發明的第五方面，上述控制部，計算上述載荷總和的減少部分的平均值，根據該平均值和由上述各載荷檢測機構檢測的載荷的減少部分的差，確定由上述各加壓機構產生的加工壓力。因此，能使載荷分布保持均勻地進行粘合。